Manter suas câmaras de vácuo realmente limpas
Quando se trabalha em uma sala limpa de classe 100, o menor erro pode ser desastroso. Uma pequena partícula de poeira ou um pouco de gás químico que vaza durante um ciclo de aquecimento pode estragar seu wafer.
A maioria dos elementos de aquecimento padrão não foi projetada para esse tipo de uso. Eles liberam substâncias contaminantes, o que acaba prejudicando o substrato. É por isso que utilizamos quartzo sintético de alta pureza em nossas lâmpadas infravermelhas de vácuo. Assim, elas permanecem limpas.
Problemas relacionados à liberação de gases
Utilizamos quartzo de silicato fundido porque ele não se degrada quando exposto ao calor. Diferentemente do vidro comum, ele não se quebra nem libera compostos orgânicos voláteis na câmara.
Em condições de vácuo, uma partícula microscópica não é apenas “poeira” – ela representa um defeito no material. Ao eliminar as impurezas presentes no quartzo, garantimos que não haja adição acidental de carbono ou metal ao processo.
Energia e calor
Como a radiação infravermelha não precisa de um meio para se propagar, ela é perfeita para uso em ambientes de vácuo. Projetamos essas lâmpadas para ter alta densidade de energia, permitindo que o calor seja aplicado rapidamente. A energia vai diretamente para a peça a ser tratada, o que evita que as paredes da câmara absorvam todo esse calor desnecessário.
Uma dica importante: tubos de alta potência economizam tempo, mas também sobrecarregam os selos de vedação. Certifique-se de que as juntas possam suportar a expansão térmica, para evitar perda da vedação.
Instalação
Mantemos os conectores padronizados. É possível instalá-los sem precisar rearrumar todo o sistema, o que evita muitos problemas. Além disso, polimos o quartzo até alcançar um alto grau de brilho. Isso evita a formação de “pontos quentes”, que geralmente causam o falha prematura das lâmpadas.
Se você utiliza um sistema de alta pressão negativa, verifique o sistema de resfriamento. Essas lâmpadas geram grande quantidade de energia, e as extremidades podem ficar tão quentes a ponto de derreter os fios elétricos. Use fios resistentes ao calor para evitar curtos-circuitos.