Dlaczego odchodzimy od gorącego powietrza w procesie produkcji półprzewodników
Jeśli kiedykolwiek zajmowałeś się ulepszaniem sprzętu w laboratoriach czystych, znasz problemy związane z nagrzewaniem. To ta część procesu, która zawsze wydaje się niekończąca się. Większość starych fabryk nadal polega na cyrkulacji gorącego powietrza. Problem polega na tym, że to proces dwuetapowy: najpierw nagrzewamy powietrze, a potem mamy nadzieję, że ciepło dotrze do podłoża. To wolne i marnotrawne. Szczerze mówiąc, jest to irytujące, gdy próbujemy dotrzymać terminu. Dlatego wielu z nas przechodzi na grzanie za pomocą krótkofalowego promieniowania infrarażowego (SWIR). To po prostu eliminuje potrzebę użycia pośrednika. Przestańmy nagrzewać powietrze Pomyśl o tym w ten sposób. Gorące powietrze polega na konwekcji, co oznacza czekanie, aż atmosfera będzie wystarczająco ciepła, aby ciepło mogło dotrzeć do płytki. Promieniowanie infrarażowe nie przejmuje się powietrzem. Wykorzystuje promieniowanie elektromagnetyczne, aby dostarczyć energię bezpośrednio do materiału. Nie tracimy czasu na nagrzewanie całej pomieszczenia – tylko tego obszaru, który ma być nagrzany. Opóźnienie między włączeniem urządzenia a osiągnięciem wymaganej temperatury praktycznie znika. Więcej płytek, mniej przestrzeni zajmowanej przez sprzęt Gdy przechodzimy na promieniowanie infrarażowe, obszar grzania może zostać znacznie mniejszy. Ponieważ ciepło jest tak skoncentrowane, nie potrzebujemy dużych, głośnych komór konwekcyjnych, aby utrzymać stałą temperaturę. To pozwala zaoszczędzić sporo miejsca na podłodze fabryki. Ale prawdziwą zaletą jest szybkość. Wyobraź sobie, że cykl nagrzewania trwa 10 minut, a teraz skrócił się do 2 minut. Możemy przygotować znacznie więcej płytek na godzinę, bez konieczności zakupu i instalacji nowych maszyn. Rzeczywistość Promieniowanie infrarażowe nie jest magiczną różdżką. Ma swoje wady. Ponieważ ciepło jest skierowane w określonym kierunku, możemy mieć problemy z dosięgnięciem wszystkich miejsc. Jeśli elementy, które chcemy nagrzać, mają dziwny kształt lub głębokie zagłębienia, promienie infrarażowe mogą nie dotrzeć do tych miejsc. W takich przypadkach nadal potrzebna jest konwekcja, aby wypełnić te luki. I jeszcze jedna uwaga: lampy o wysokiej mocy nagrzewają się bardzo mocno na swoich końcach. Jeśli pracujesz 24/7, nie oszczędzaj na przewodach ani wentylatorach chłodzących. W przeciwnym razie możesz mieć problemy z uszkodzonymi złączami i nieplanowanymi przerwami w pracy.