
Utrzymanie sterylnej sali klasy 100 w czystości
Jeśli prowadzisz salę o klasie czystości 100, doskonale znasz problem powstawania cząstek kurzu. Jeden mały drobinek lub niewielka ilość gazów uwalnianych z elementu grzewczego mogą poważnie wpłynąć na jakość półprzewodników. To frustrujące.
Dlatego przestaliśmy używać standardowych grzejników i zamiast tego zaczęliśmy stosować syntetyczne rurki kwarcowe o wysokiej czystości, pokryte warstwą złota o właściwościach refleksyjnych.
Dlaczego złoto jest tak ważne?
Większość lamp podczerwieni po prostu rozpraszają ciepło we wszystkich kierunkach. Ale w urządzeniach do obróbki półprzewodników to straty energii. Liczy się tylko to ciepło, które trafia na płytkę krzemową.
Dlatego na tylną stronę rurki kwarcowej nakładamy cienką warstwę złota. Ona działa jak lusterko, skupiając całą energię podczerwoną w jednym kierunku.
Efekt? Ogromny wzrost gęstości ciepła, bez konieczności zwiększania mocy grzewczej. Można szybciej osiągnąć żądane temperatury. Ponadto złoto jest chemicznie inertne – nie utlenia się ani nie odpada, więc cel „zerowej kontaminacji” pozostaje realizowany.
Czyszczenie materiałów i problem z ciepłem
Stosujemy kwarc o wysokiej czystości, ponieważ zapobiega to migracji zanieczyszczeń w momencie nagrzewania. Te lampy są przygotowane na intensywne obciążenia termiczne – mogą je znosić bez żadnych problemów.
Ale należy pamiętać, że warstwa złota skupia dużą ilość energii, więc ciśnienie cieplne na przedniej powierzchni jest duże. Upewnij się, że elementy chłodzące są dobrze dobrane. W przeciwnym razie kwarc może się przegrzać.
Instalacja i utrzymanie w dobrym stanie
Te lampy zostały zaprojektowane tak, aby można je było łatwo zastąpić innymi modułami. Nie trzeba się martwić o ucieczkę cząstek podczas instalacji.
Jedna rada dotycząca kabli: utrzymuj stabilną moc zasilania. Spadki napięcia mogą uszkodzić żarnik, zanim ten zdąży wykonać swoją pracę.
A jeśli zauważysz spadek mocy? Zwykle to efekt zanieczyszczeń na powierzchni kwarcu. Użyj środka czyszczącego typu IPA i dokładnie je wyczyść.
Proszę, przestań używać tkanin ściernych. One niszczą powłokę i powodują powstanie tych właśnie cząstek, których chcesz uniknąć. Lepiej używać miękkich materiałów do czyszczenia.