Precisie IR sensor voor wafer

Thu, 23 Jul 2026 09:24:45 +0800

Het verminderen van kooldioxide-uitstoot bij het verwerken van wafer’s (zonder dat je gek wordt)
Elke halfgeleiderfabriek heeft momenteel te kampen met het probleem om de doelstellingen van nul uitstoot te bereiken. Maar als je kijkt naar waar de energie naartoe gaat, blijkt dat een groot deel van de energie wordt verspild aan het opwarmen en drogen van de wafer’s.

De oude manier – grote convectiekasten – is net alsof je probeert één peul op te warmen door de hele keuken op te warmen. Dat is een enorme verspilling van energie. We hebben een betere manier gevonden: we gebruiken precisie-IR-sensoren en verwarmingsystemen die precies gericht zijn op de wafer, en niet op de ruimte eromheen.

Hoge precisie warmte voor wafer IR

Thu, 02 Jul 2026 02:28:29 +0800

Op de lithografielijn betekent een afwijking van een halve graad tijdens het verhitten van de fotoresist geen klein probleem. Het resultaat is dat er fouten optreden tijdens de elektrische tests, en dat er ook meer deeltjes ontstaan die tot problemen leiden. Het IR-verwarmingssysteem moet niet alleen een bepaalde temperatuur bereiken, maar ook een constante en herhaalbare temperatuur over het hele wafer verspreiden, zonder dat er vervuiling ontstaat.

Wat belangrijk is onder de motorkap Wij hebben het IR-verwarmingssysteem gebouwd met behulp van kortegolflange infraroodhalogeenemitters in een kwartsversterkt module. Dit zorgt voor een snelle reactie en nauwkeurige temperatuursturing. Op een 300 mm grote wafer houden we de temperatuur binnen ±0,1°C. De herhaalbaarheid tussen verschillende producties blijft binnen enkele milligraden. De kamer is geschikt voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1 tot 100. Hierbij worden materialen gebruikt die weinig gas afgeven, en wordt de luchtcirculatie zo geregeld dat er zo min mogelijk deeltjes ontstaan. Het doel is om geen deeltjes te produceren – dit hangt af van de oppervlaktekwaliteit, de keuze van de afsluitingen en een goede afvoer van afvalstoffen.

Precisie on Cozy Outdoor Patio IR Comfort

Precisie IR sensor voor wafer

Hoge precisie warmte voor wafer IR