Fab airconditioningverwarmingseenheid

Fri, 03 Jul 2026 02:30:04 +0800

Op een lijn van 300 mm is de lithografiecabine het belangrijkste onderdeel. Als de verwarmer in de AHU uit de pas loopt, zal ook het bakprofiel veranderen – en dat heeft tot gevolg dat er al op vroege momenten minder producten geschikt zijn voor gebruik, nog voordat de defectscanner iets kan detecteren. We hebben ons Fab Air Conditioning Heater Module ontworpen om het thermische veld stabiel te houden, precies op de plek waar het nodig is: op het wafer.

Wat belangrijk is: We zorgen voor een temperatuuruniformiteit van ±0,1°C in de stroom lucht die naar het wafer wordt geleid. Hierdoor heeft het bakproces consistente omstandigheden. Het apparaat werkt in schoonruimtes van klasse 1–100, zonder enige vorm van partikelontwikkeling. De verwarmer maakt gebruik van materialen met weinig emissie van gassen, zodat er geen contaminatie optreedt tijdens het bakproces. De capaciteit van de verwarmer is voldoende voor 24/7 gebruik, met controleerbare tempo’s. De verwarmer kan gemakkelijk worden geïntegreerd in de bestaande controlecircuits van de AHU, via standaard industriële interfaces.

Gebiedsbepaald infraroodverwarmingselement

Thu, 18 Jun 2026 00:39:20 +0800

Op de productielijn zijn de verschillende benodigde temperatuurwaarden geen simpele temperatuurniveaus – ze vertegenwoordigen eerder tolerantieramen. Een afwijking van 1°C heeft invloed op de vereiste precisie van de afmetingen van het product. Bovendien kan een plek met te hoge temperatuur leiden tot een verminderde productie. Daarom hebben we infraroodverwarmingsmodules ontworpen die het mogelijk maken om de temperatuur precies onder controle te houden.

Wat technisch gezien belangrijk is:
We gebruiken kortegolflange infraroodemitters die worden bestuurd door snelle drivers. Hierdoor wordt de warmte precies waar en wanneer het nodig is gegenereerd. De module is opgedeeld in losse zones die apart kunnen worden geregeld. Hierdoor kan de temperatuur per zone worden aangepast, in plaats van dat er een gemiddelde temperatuur wordt gehanteerd. In praktijk resulteert dit in een uniformiteit van ±0,1°C op het niveau van de wafer. Ook de temperatuur van de fotoresistent blijft binnen ±0,5°C van het gewenste niveau, cyclus na cyclus. Het gebruik van kwartsvrije materialen zorgt ervoor dat er geen deeltjes op de wafer terechtkomen. Dit is precies wat nodig is voor werken in een schone ruimte van klasse 1–100.

Module on Cozy Outdoor Patio IR Comfort

Fab airconditioningverwarmingseenheid

Gebiedsbepaald infraroodverwarmingselement