Infraroodverwarmer voor activering van dopanten

Mon, 22 Jun 2026 18:29:52 +0800

Op de productielijn is het thermische budget een grens die niet mag worden overschreden. Na de implantatie moet de activatietemperatuur precies worden bereikt, met een nauwkeurige distributie van de warmte. Als dit niet lukt, verandert de weerstand van het materiaal. Hierdoor neemt ook de kwaliteit van de producten af.

Conventionele warmteplassen zorgen voor een daling van de efficiëntie en voor vertragingen in het proces. Het procesvenster wordt daardoor steeds kleiner.

Wat belangrijk is onder het oppervlak Wij hebben de activatie van de dopanten gebaseerd op kortegolflange halogeenemitters en een kwartsversterkt thermisch ontwerp. Energie komt rechtstreeks in het wafer terecht, snel en efficiënt. Op een volledig 300 mm groot wafer houden we de uniformiteit binnen ±0,1°C, met consistente profielen tijdens het proces. Dit zorgt ervoor dat de thermische omstandigheden constant blijven, vanaf het begin tot het einde van het proces.

Activatie on Cozy Outdoor Patio IR Comfort

Infraroodverwarmer voor activering van dopanten