
Stop met het verspillen van je warmte
Wanneer je een wafer verhit, is het antwoord niet om gewoon meer vermogen te gebruiken. Het gaat niet om hoeveel vermogen je hebt – het gaat erom waar dat vermogen naartoe gaat.
Meestal verdwijnt de energie gewoon in de wanden van de kamer. Dat is zonde. Daarom gebruiken we goudcoated reflectoren. In plaats van te laten gebeuren dat de warmte zich verspreidt, dwingen we hem terug naar het substraat.
Waarom goud?
Denk aan een standaard kwartzlamp: deze geeft energie in alle richtingen, 360 graden. In een verhitter betekent dit dat de helft van de energie al direct verloren gaat.
We lossen dit op door een dunne laag goud te gebruiken. Het gaat hier niet om uiterlijk; goud heeft een zeer lage emissiviteit in het infrarode gebied. De reflectiegraad is zelfs meer dan 98%. In feite wordt bijna elke watt die door de filamant wordt geproduceerd weer teruggekaatst als gefocuste straling.
De juiste temperatuur bereiken
Het echte wonder gebeurt door de vorm van de reflector. Door deze vorm aan te passen, kunnen we de warmtestroom precies richting het substraat sturen.
Dit is belangrijk voor de snelheid waarmee je de gewenste temperatuur bereikt. Je bereikt de gewenste temperatuur sneller, zonder dat er storingen optreden. Er ontstaat een gelijkmatig thermisch profiel over het hele oppervlak, zodat er geen ‘hot spots’ meer zijn die een perfecte batch wafer’s kunnen beschadigen.
Een paar dingen om in de gaten te houden
Er is echter één nadeel: wanneer je de warmte zo effectief concentreert, neemt de energiedichtheid toe. Je moet ervoor zorgen dat je koelsysteem het overblijvende vuur kan hanteren. Als de luchtvloeiing te zwak is, kan de goudlaag zelfs beschadigen door de omringende hitte. Houd de oppervlakte van de reflector in de gaten. Als je verkleuringen ziet – oxidatie of vuil – zal de efficiëntie dalen.
Hoe dit in je installatie past
Het beste is dat deze apparaten gemakkelijk kunnen worden geplaatst op de plek waar je oude IR-verhitters stonden. Je gebruikt dezelfde voedingsbronnen als eerder. Maar zodra ze draaien, merk je dat de totale energieverbruik afneemt, hoewel de wafer’s nog steeds dezelfde temperatuur bereiken. Het gaat er gewoon om dat je nu eindelijk gebruikmaakt van de energie die je al betaalt.