Het behouden van schone vacuümkamers
Wanneer je in een klasse-100-schone kamer werkt, is zelfs de kleinste fout een ramp. Eén piepklein stofdeeltje of een beetje chemisch gas dat tijdens een verhittingscyclus ontsnapt, kan ervoor zorgen dat je wafer beschadigd raakt.
De meeste standaardverwarmings elementen zijn niet geschikt voor dit doel. Ze laten bindmiddelen los of gaan oxideren; dit betekent dat ze vervuilingen rechtstreeks op het oppervlak van je substraat brengen. Daarom gebruiken we hoogzuiver synthetisch kwarts voor onze infraroodlampen. Dit materiaal blijft namelijk schoon.
Het probleem met uitgasen
We gebruiken gefuseerd siliciumkwarts omdat dit materiaal niet reageert wanneer het heet wordt. In tegenstelling tot gewoon glas, zal het zich niet afbreken of die irritante vluchtige organische verbindingen (VOC’s) vrijgeven in de kamer.
In een vacuüm is een microscopisch klein deeltje geen ‘stof’ – het is een defect. Door de onzuiverheden uit het kwartsmateriaal te halen, voorkomen we dat er per ongeluk koolstof of metaal in het proces terechtkomt.
Stroom en warmte
Omdat infraroodstraling geen medium nodig heeft om zich te verspreiden, is het ideaal voor vacuümen. We hebben deze lampen ontworpen met een hoge vermogensdichtheid, zodat je de hitte snel kunt opvoeren. De energie gaat rechtstreeks naar het te bewerken oppervlak. Dit is goed, want zo voorkomen we dat de wanden van de kamer al die onnodige hitte opnemen.
Eén belangrijk punt: lampen met een hoge vermogenssterkte besparen tijd, maar ze belasten de vacuümsluitingen enorm. Zorg er dus voor dat je gommen bestand zijn tegen de lokale thermische uitzetting, zodat de sluiting niet beschadigd raakt.
Het monteren van de lampen
We houden de aansluitingen gestandaardiseerd. Je kunt de lampen eenvoudig installeren, zonder dat je de hele installatie opnieuw hoeft te bedraadpinnen. Dit bespaart veel problemen. We polijsten het kwarts ook tot een hoog niveau van glans. Hierdoor ontstaan er geen ‘hot spots’, wat anders vaak de oorzaak is van vroegtijdige beschadiging van de lampen.
Als je een systeem met hoge vacuümwaarden gebruikt, controleer dan zeker je koelsysteem. Deze lampen leveren een enorme hoeveelheid energie op, waardoor de uiteinden van de lampen erg heet kunnen worden. Gebruik liever leiders die bestand zijn tegen hoge temperaturen, zodat er geen kortsluiting optreedt in je apparaat.