http://cozy-patio-ir.com/ko/tags/mems/ Recent content in MEMS on Cozy Outdoor Patio IR Comfort Hugo ko Sun, 26 Jul 2026 09:30:57 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ko/posts/preventing-wafer-contamination-via-safety-engineered-ir-drying-heaters/ Sun, 26 Jul 2026 09:30:57 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ko/posts/preventing-wafer-contamination-via-safety-engineered-ir-drying-heaters/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터"></p> <p><strong>유리 조각의 낙하를 막아라: IR 건조 과정에서 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법</strong><br> MEMS 센서 제조 과정에서 적외선 램프가 고장 나는 것은 큰 문제입니다. 이는 단순한 부품의 고장이 아니라, 심각한 재앙입니다.<br> 고압으로 인해 석영관이 파열된다고 상상해보세요. 그러면 유리 조각과 텅스텐 필라멘트들이 웨이퍼 위로 떨어집니다. 한 번만 고장 나도 전체 생산량이 날아가버립니다. 그 다음에는 전체 장비를 분해하여 진공 상태에서 청소해야 합니다.</p>