http://cozy-patio-ir.com/ko/tags/%EC%A0%84%EC%9E%90/ Recent content in 전자) on Cozy Outdoor Patio IR Comfort Hugo ko Fri, 19 Jun 2026 01:42:22 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ko/posts/tel-tokyo-electron-heater-lamp/ Fri, 19 Jun 2026 01:42:22 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ko/posts/tel-tokyo-electron-heater-lamp/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="TEL (Tokyo Electron) 히터 램프"></p> <p>리소그래피 공정에서는 포토레지스트의 건조 과정이 위상선의 균일성을 결정합니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 1°C만큼의 온도 변동이 있어도 즉시 CD 값에 변화가 생기며, 단 한 개의 먼지 입자만으로도 웨이퍼가 손상될 수 있습니다. TEL 히터는 이러한 현실을 고려하여 설계된 것이지, 그와 싸우기 위한 것이 아닙니다.</p>