http://cozy-patio-ir.com/ko/tags/%EC%97%B4%EA%B8%B0/ Recent content in 열기 on Cozy Outdoor Patio IR Comfort Hugo ko Thu, 02 Jul 2026 02:28:29 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ko/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ Thu, 02 Jul 2026 02:28:29 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ko/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="웨이퍼용 고정밀 열처리"></p> <p>리소그래피 공정에서, 포토레지스트를 가열할 때 발생하는 0.5도 정도의 온도 변동은 결코 사소한 문제가 아닙니다. 이러한 오차는 전기 테스트 시 수율 저하로 나타나며, 불순물이 생겨서 재가공이 필요하게 됩니다. 웨이퍼의 적외선 가열은 단순히 일정한 온도를 유지하는 것뿐만 아니라, 오염을 일으키지 않으면서 전체 웨이퍼에 균일하고 일관된 열을 공급해야 합니다.</p>