http://cozy-patio-ir.com/ko/tags/%EB%AA%A8%EB%93%88/ Recent content in 모듈 on Cozy Outdoor Patio IR Comfort Hugo ko Fri, 03 Jul 2026 02:30:04 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ko/posts/fab-air-conditioning-heater-module/ Fri, 03 Jul 2026 02:30:04 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ko/posts/fab-air-conditioning-heater-module/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="팹 에어컨 히터 모듈"></p> <p>300mm 웨이퍼를 처리할 때, 리소그래피 공정에서 가장 중요한 요소는 바로 열처리 공정입니다. 만약 AHU의 히터가 오차를 보인다면, 열처리 공정도 함께 변동하게 되고, 결함 감지 장치가 문제를 감지하기 훨씬 전에 생산성이 저하됩니다. 저희는 웨이퍼가 있는 곳에서 열 환경을 안정적으로 유지하기 위해 특수한 냉난방 히터 모듈을 개발했습니다.</p> http://cozy-patio-ir.com/ko/posts/zoned-infrared-heating-module/ Thu, 18 Jun 2026 00:39:20 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ko/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="구역별 적외선 난방 모듈"></p> <p>팹에서는 ‘소프트 베이크’와 ‘하드 베이크’가 단순히 온도 조절 과정이 아니라, 허용 오차를 관리하는 과정이기도 합니다. 1°C의 온도 변동만으로도 치명적인 결과가 발생할 수 있으며, 특정 부분의 과열은 웨이퍼의 생산성을 크게 저하시킬 수 있습니다. 이러한 이유로 우리는 열 처리 과정에서의 불확실성을 줄이기 위해 구역별 적외선 가열 모듈을 개발했습니다.</p>