http://cozy-patio-ir.com/ja/tags/mems/ Recent content in MEMS on Cozy Outdoor Patio IR Comfort Hugo ja Sun, 26 Jul 2026 09:30:30 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-via-safety-engineered-ir-drying-heaters/ Sun, 26 Jul 2026 09:30:30 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-via-safety-engineered-ir-drying-heaters/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター"></p> <p>ガラスの破片が降り注ぐのを防ぐ：IR乾燥時にウェーハを清潔に保つ<a href="https://o-yate.net">方法</a><br> MEMSセンサーの製造において、赤外線ランプが故障すると大変なことになります。それは単なる部品の故障ではなく、まさに災害です。<br> 高圧下で石英管が割れると、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハ上に降り注ぎます。一度故障すれば、一回分の製品が全滅してしまいます。その後は、装置全体を分解して汚れを取り除く必要があります。</p>