http://cozy-patio-ir.com/ja/tags/%E7%94%BB%E9%9D%A2/ Recent content in 画面 on Cozy Outdoor Patio IR Comfort Hugo ja Mon, 29 Jun 2026 02:09:45 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ja/posts/dns-screen-wafer-dryer-lamp/ Mon, 29 Jun 2026 02:09:45 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ja/posts/dns-screen-wafer-dryer-lamp/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="DNS スクリーン ウェーハ乾燥ランプ"></p> <p>300mmウェーハの場合、オーブン自体は安定しているように見えますが、ソフトベイク後でもフォトレジストのプロファイルには変動が生じます。その結果、エッチング時にウェーハ上の線幅にばらつきが生じ、それは結局、ウェーハ全体の温度分布の不均一性に起因しています。</p>