http://cozy-patio-ir.com/ja/tags/%E7%86%B1/ Recent content in 熱 on Cozy Outdoor Patio IR Comfort Hugo ja Thu, 02 Jul 2026 02:28:29 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ja/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ Thu, 02 Jul 2026 02:28:29 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ja/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="ウェーハ用高精度加熱IR"></p> <p>リソグラフィーの工程において、フォトレジストを加熱する際に半度ものずれが生じるというのは、些細な問題ではありません。これは、電気テスト時の歩留まりの低下や、再処理が必要となるほどの粒子の発生を引き起こします。ウェーハのIR加熱では、単に一定の温度に到達させるだけでなく、ウェーハ全体にわたって安定して再現性の高い加熱を行い、汚染が生じないようにする必要があります。</p>