http://cozy-patio-ir.com/ja/tags/%E3%83%A2%E3%82%B8%E3%83%A5%E3%83%BC%E3%83%AB/ Recent content in モジュール on Cozy Outdoor Patio IR Comfort Hugo ja Fri, 03 Jul 2026 02:30:04 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ja/posts/fab-air-conditioning-heater-module/ Fri, 03 Jul 2026 02:30:04 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ja/posts/fab-air-conditioning-heater-module/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="ファブ エアコンヒーターモジュール"></p> <p>300mmウェーハを扱う際、リソグラフィー工程において最も重要なのが加熱装置です。AHUのヒーターの性能が悪くなると、バケィングプロセスのパフォーマンスも悪化し、欠陥検出装置が異常を検知する前から生産効率が低下してしまいます。私たちは、ウェーハがある場所でのみ熱環境を安定させるために、専用の空調・ヒーターモジュールを開発しました。</p> http://cozy-patio-ir.com/ja/posts/zoned-infrared-heating-module/ Thu, 18 Jun 2026 00:39:20 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ja/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ゾーン制御型赤外線ヒーターモジュール"></p> <p>製造現場において、ソフトベイクとハードベイクというのは、単なる温度設定段階ではありません。それは実際には<a href="https://o-yate.com">許容範囲</a>の設定でもあるのです。1℃の誤差であっても、ウェハの寸法精度に影響を与えますし、ホットスポットが発生すると、歩留まりが低下してしまいます。そのため、私たちは<a href="https://goldisgood.com">熱分布</a>を正確に制御できるように、ゾーンごとに独立して制御可能な赤外線加熱モジュールを開発しました。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> 私たちは、迅速に反応するドライバーを備えた短波長の赤外線エミッターを使用しているため、必要な場所に、必要なタイミングで熱を供給できます。このモジュールは、個別に制御可能なゾーンに分かれているため、ウェハ全体の平均的温度ではなく、各ゾーンごとの温度を調整できます。実際には、ウェハ全体の温度のばらつきを±0.1℃以内に抑えることができ、フォトレジストの焼成プロファイルもサイクルごとに±0.5℃以内に抑えられます。また、石英を含まない構造や低ガス<a href="https://henruite.com">放出性</a>の材料を使用しているため、ウェハ上に粒子が発生することがありません。これは、クラス1～100のクリーンルームでの<a href="https://o-yate.net">作業</a>に最適です。</p>