http://cozy-patio-ir.com/ja/tags/%E3%82%BE%E3%83%BC%E3%83%B3%E5%88%86%E3%81%91%E6%B8%88%E3%81%BF/ Recent content in ゾーン分け済み on Cozy Outdoor Patio IR Comfort Hugo ja Fri, 26 Jun 2026 01:00:37 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ja/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Fri, 26 Jun 2026 01:00:37 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ja/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="高度なウェーハ製造工場向けのゾーン別加熱システム"></p> <p>300mmのウエハーがレールから外れてベイクモジュールの中に落ちていく様子を見てみましょう。フォトレジストは、すべてのダイにおいて、均一で正確な温度に保たれる必要があります。もし高温領域の温度が1℃でも<a href="https://goldisgood.com">変動</a>したり、端の部分に低温域ができたりすると、重要な寸法の制御が乱れてしまいます。そうなると工程は止まってしまいます。</p> http://cozy-patio-ir.com/ja/posts/zoned-infrared-heating-module/ Thu, 18 Jun 2026 00:39:20 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ja/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ゾーン制御型赤外線ヒーターモジュール"></p> <p>製造現場において、ソフトベイクとハードベイクというのは、単なる温度設定段階ではありません。それは実際には<a href="https://o-yate.com">許容範囲</a>の設定でもあるのです。1℃の誤差であっても、ウェハの寸法精度に影響を与えますし、ホットスポットが発生すると、歩留まりが低下してしまいます。そのため、私たちは<a href="https://goldisgood.com">熱分布</a>を正確に制御できるように、ゾーンごとに独立して制御可能な赤外線加熱モジュールを開発しました。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> 私たちは、迅速に反応するドライバーを備えた短波長の赤外線エミッターを使用しているため、必要な場所に、必要なタイミングで熱を供給できます。このモジュールは、個別に制御可能なゾーンに分かれているため、ウェハ全体の平均的温度ではなく、各ゾーンごとの温度を調整できます。実際には、ウェハ全体の温度のばらつきを±0.1℃以内に抑えることができ、フォトレジストの焼成プロファイルもサイクルごとに±0.5℃以内に抑えられます。また、石英を含まない構造や低ガス<a href="https://henruite.com">放出性</a>の材料を使用しているため、ウェハ上に粒子が発生することがありません。これは、クラス1～100のクリーンルームでの<a href="https://o-yate.net">作業</a>に最適です。</p>