http://cozy-patio-ir.com/ja/tags/%E3%82%A6%E3%82%A8%E3%83%8F%E3%83%BC/ Recent content in ウエハー on Cozy Outdoor Patio IR Comfort Hugo ja Tue, 09 Jun 2026 00:41:02 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ja/posts/polyimide-curing-for-wafer-fab/ Tue, 09 Jun 2026 00:41:02 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ja/posts/polyimide-curing-for-wafer-fab/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="ウエハ製造のポリイミド硬化"></p> <p>ファブフロアにおいて、ポリイミド硬化は単なる熱処理の一工程ではない。寸法の精度を約束する工程である。ウェハー全体で数℃の<a href="https://o-yate.net">温度</a>の過不足があれば、応力分布が変わり、膜の反りを発生させ、歩留まりが仕様外にシフトする。私たちの手法はこの現実を踏まえて構築されている。重要箇所の温度を確実に保持しつつ、清浄度や稼働率を犠牲にしないこと。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong><br> 短波長赤外線エミッタと石英安定化された熱場を組み合わせて、ポリイミド硬化中のウェハーレベルで±0.1℃の均一性を実現している。サイクル間の再現性は±0.2℃で、残留溶剤量やCTEなどの重要パラメータが安定的に維持される。チャンバーはクリーンルーム対応で、Class 1–100に<a href="https://henruite.com">適合</a>し、0.1 μm粒径での<a href="https://goldisgood.com">発生粒子数</a>を0.1個/cm²以下に制御するパスを備えている。効率的な電力変換と高速の熱応答により消費電力を抑え、アイドル時の電力消費を削減しながら処理時間を延長しない。</p> http://cozy-patio-ir.com/ja/posts/fast-shipping-wafer-heater-lamp/ Mon, 08 Jun 2026 02:18:14 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ja/posts/fast-shipping-wafer-heater-lamp/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="高速配送 ウェーハーヒーターランプ"></p> <p>リソグラフィ工程では、ソフトベイクの温度がわずか0.5度ずれただけでCDバジェットに影響し、ハードベイクの温度がウェハ全体で均一でないとスカミングやフッティングが発生することをすぐに<a href="https://o-yate.com">理解</a>します。ラインがロットあたりの時間短縮を追求している場合、ランプの交換を待つ余裕はありません。</p>