Modulo aria condizionata riscaldamento Fab

Fri, 03 Jul 2026 02:30:04 +0800

Su una linea da 300 mm, la sala di litografia rappresenta il cuore del sistema. Se il riscaldatore presente nell’AHU si sposta, anche il profilo termico cambia – e questo comporta una diminuzione della qualità dei prodotti, molto prima che lo strumento di rilevamento dei difetti possa segnalare eventuali problemi. Abbiamo progettato il nostro modulo di riscaldamento per mantenere costante il campo termico proprio laddove è fondamentale: direttamente sul wafer.

Cosa è importante
Riusciamo a mantenere una uniformità termica di ±0,1°C lungo tutto il flusso d’aria, in modo che la piastra di essiccazione riceva condizioni di ingresso costanti. Il modulo funziona in ambienti puliti di classe 1–100, senza alcuna generazione di particelle, come confermato dal monitoraggio in tempo reale delle particelle presenti nell’aria. Il riscaldatore utilizza materiali con bassa emissione di gas e un percorso termico sigillato, in modo da evitare contaminazioni durante i processi di essiccazione. La potenza di output è sufficiente per funzionamenti 24/7, con velocità di regolazione controllate; inoltre, il modulo può essere integrato nei circuiti di controllo esistenti tramite interfacce industriali standard.

Aria on Cozy Outdoor Patio IR Comfort

Modulo aria condizionata riscaldamento Fab