Come mantenere pulite le camere a vuoto
Quando si lavora in una sala pulita di classe 100, anche il più piccolo errore può avere conseguenze disastrose. Basta un solo granello di polvere o una piccola quantità di gas chimico che fuoriesce durante il ciclo di riscaldamento per rovinare il wafer su cui si sta lavorando.
La maggior parte degli elementi riscaldanti standard non è adatta a queste condizioni: essi perdono sostanze tossiche o si ossidano, il che significa che tali sostanze finiscono direttamente sul substrato su cui si sta lavorando. Ecco perché utilizziamo quarzo sintetico ad alta purezza per le nostre lampade a infrarossi. In questo modo, il quarzo rimane pulito.
Il problema legato alla liberazione di gas
Utilizziamo quarzo di silice fusa, poiché non reagisce negativamente quando le temperature aumentano. A differenza del vetro normale, il quarzo non si degrada e non rilascia quei composti organici volatili che possono danneggiare l’ambiente di lavoro.
Nel vuoto, un piccolissimo granello di polvere rappresenta davvero un problema: è infatti un difetto nel materiale su cui si sta lavorando. Eliminando le impurità presenti nel quarzo, ci assicuriamo che non vengano aggiunti carbonio o metalli al processo di produzione.
Energia e calore
Poiché i raggi infrarossi non necessitano di un mezzo per propagarsi, sono perfetti per essere utilizzati in condizioni di vuoto. Abbiamo progettato queste lampade per garantire un’elevata densità di potenza, in modo da poter aumentare rapidamente la temperatura. L’energia viene trasmessa direttamente al pezzo da lavorare, il che è vantaggioso, poiché evita che le pareti della camera assorbano tutto quel calore inutile.
Un consiglio importante: i tubi ad alta potenza permettono di risparmiare tempo, ma possono danneggiare i sigilli di tenuta. Assicuratevi quindi che i giunti siano in grado di resistere all’espansione termica, così da evitare perdite di tenuta.
Montaggio delle lampade
Manteniamo i connettori standardizzati: basta semplicemente inserirli senza dover rifare tutti i collegamenti, il che evita molti problemi. Inoltre, lucidiamo il quarzo fino a ottenere una superficie perfetta. In questo modo si evitano le “zone calde” che possono causare il malfunzionamento prematuro della lampada.
Se utilizzate un sistema a vuoto elevato, assicuratevi di controllare bene il sistema di raffreddamento. Queste lampade emettono una grande quantità di energia, e le loro estremità possono diventare così calde da融ire i cavi elettrici di bassa qualità. Utilizzate quindi cavi resistenti al calore, per evitare cortocircuiti.