Lampu pengering wafer DNS (Screen)

Mon, 29 Jun 2026 02:09:46 +0800

Pada garis produksi 300 mm, ovennya tampak stabil, tetapi profil fotoresist masih mengalami perubahan setelah proses pemanasan ringan. Hal ini menyebabkan variasi lebar garis pada tahap etching. Penyebab utamanya adalah ketidakseragaman suhu di seluruh permukaan wafer.

Umumnya, penyebabnya adalah lampu pengering tersebut—komponen-komponennya memudar seiring waktu, daya outputnya berubah-ubah, dan adanya titik-titik panas yang tidak dapat dikompensasi oleh sistem kontrol.

Apa yang benar-benar penting dalam proses litografi? Lampu pengering DNS menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek yang terletak dalam struktur kuarsa. Hal ini memungkinkan pemanasan yang cepat dan merata, dengan tingkat keseragaman hingga ±0,1°C.

Bola pengering wafer efisiensi tinggi

Sun, 07 Jun 2026 00:56:32 +0800

Di lantai pabrik, Anda sudah paham prosedurnya. Drift ±0,5°C selama proses pemanggangan photoresist sudah cukup untuk menggugurkan satu lot berisi 500 wafer. Anda memerlukan panas yang tepat berada di lokasi sesuai dengan yang tertera pada kartu proses, lot demi lot. Lampu pengering NIR yang kami gunakan dibangun berdasarkan kenyataan tersebut—performa termal yang stabil dan dapat diulang, setiap hari, bahkan di ruang bersih kelas 1–100.

Apa yang penting di balik desain

Lampu ini menggabungkan pemancar near-infrared (NIR) dengan selubung kuarsa, yang disetel untuk respons cepat dan kontrol suhu yang ketat. Dalam rentang 200–400°C, lampu menjaga keseragaman suhu pada tingkat wafer dalam ±0,1°C di seluruh zona pemanggangan, sehingga dimensi kritis tetap terjaga. Pembentukan partikel berada pada nol berkat desain rendah outgassing dan geometri pembakaran bersih—faktor penting untuk melindungi hasil produksi di soft bake dan hard bake. Output 1200 W cocok untuk dudukan dryer standar, dan profil spektral disesuaikan dengan anggaran termal photoresist, sehingga Anda tidak mengalami overshoot yang berisiko menyebabkan over-exposure.

Pengering Rambu on Cozy Outdoor Patio IR Comfort

Lampu pengering wafer DNS (Screen)

Bola pengering wafer efisiensi tinggi