
Hentikan “hujan kaca” ini: Jaga kebersihan wafer selama proses pengeringan menggunakan sinar inframerah
Dalam dunia produksi sensor MEMS, kerusakan pada lampu inframerah merupakan bencana yang serius. Bukan sekadar kerusakan komponen saja, tetapi hal ini bisa merusak seluruh proses produksi. Bayangkanlah tabung kuarsa yang patah akibat tekanan tinggi. Tiba-tiba, potongan kaca dan filamen tungsten jatuh langsung ke atas wafer Anda. Dengan satu kerusakan saja, seluruh batch produksi akan rusak. Setelah itu, perlu dilakukan pembersihan menyeluruh terhadap seluruh bagian mesin tersebut.
Mengapa lampu-lampu ini rusak?
Biasanya, hal ini disebabkan oleh guncangan termal atau adanya titik panas yang berlebihan. Jika kaca mengembang secara tidak merata, maka kaca tersebut akan retak. Sangat sederhana, bukan?
Kami mengatasi masalah ini dengan menggunakan kuarsa sintetis berkualitas tinggi yang mampu menahan fluktuasi daya yang tinggi. Kami juga memperhatikan penempatan filamen serta pengisian gas di dalam tabung. Mengapa? Karena hal tersebut dapat memastikan distribusi panas yang merata di sepanjang dinding tabung. Dengan demikian, kaca akan tetap utuh.
Menambah lapisan perlindungan
Kami tidak hanya mengandalkan kuarsa untuk melindungi wafer. Itu merupakan risiko yang tidak boleh diambil. Sebagai gantinya, kami menggunakan lapisan pelindung khusus yang berfungsi sebagai perisai. Jika lampu rusak, pecahan kaca akan tertahan di dalam wadahnya, sehingga tidak sampai mencemari wafer Anda.
Kami juga memperhatikan koneksi antar komponen dengan sangat teliti. Jika koneksi tidak pas, akan terjadi percikan listrik, yang nantinya akan menghasilkan debu logam. Itu merupakan cara lain untuk mencemari wafer Anda. Kami memastikan bahwa koneksi antar komponen benar-benar kuat, dan bahan-bahannya mampu menahan tegangan listrik yang digunakan.
Keseimbangan yang penting
Inilah tantangan dalam penggunaan sistem pemanasan inframerah berkepadatan tinggi: semuanya merupakan pertimbangan yang harus diseimbangkan. Jika Anda ingin proses pengeringan yang lebih cepat, Anda membutuhkan daya yang lebih besar dalam ruang yang lebih kecil. Namun, daya yang lebih besar berarti tekanan yang lebih besar pada kuarsa.
Jika Anda memilih opsi daya yang lebih tinggi untuk mempercepat proses pengeringan, Anda perlu memastikan bahwa aliran udara pendingin berfungsi dengan baik. Jika ujung-ujung tabung tidak tetap dingin, maka sambungan antar komponen akan cepat rusak.
Kami menyediakan tenaga panas, tetapi manajemen thermal dari sistem Anda yang menentukan berapa lama lampu tersebut dapat bertahan.