देखिए, 300 मिमी आकार का वेफर ट्रैक से नीचे गिरकर बेक मॉड्यूल में जा रहा है। फोटोरेसिस्ट को लक्ष्य तापमान तक पहुँचना ही होता है… हर जगह तापमान समान...

फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” केवल तापमान संबंधी चरण ही नहीं हैं; बल्कि ये तो सहनशीलता संबंधी चरण भी हैं। 1°C का अंतर भी...