http://cozy-patio-ir.com/he/tags/%D7%97%D7%95%D7%9D/ Recent content in חום on Cozy Outdoor Patio IR Comfort Hugo he Thu, 02 Jul 2026 02:28:30 +0800 http://cozy-patio-ir.com/he/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ Thu, 02 Jul 2026 02:28:30 +0800 http://cozy-patio-ir.com/he/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="חימום בדיוק גבוה ל Wafer IR"></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של חצי מעלה בטמפרטורה במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט אינו דבר של מה בכך. הדבר גורם לבעיות בבדיקות החשמליות, וכן לעלייה במספר החלקיקים שצריך להסיר בתהליך העיבוד הנוסף. חימום הוואפר באמצעות אינפרא-אדום חייב להיות מדויק – עליו לספק חום יציב ואחיד בכל שטח הוואפר, מבלי לגרום לזיהום.</p> <p><strong>מה באמת חשוב?</strong> יצרנו את מערכת החימום באמצעות אינפרא-אדום על בסיס גופי פליטה של אור אינפרא-אדום בתדר נמוך, המותקנים במודולים המחוזקים בקוורץ. המערכת מאפשרת שליטה מדויקת בטמפרטורה – על גבי ואפר בגודל 300 ממ, הטמפרטורה נשמרת בטווח של ±0.1°C, והשליטה בין סדרות הייצור נשמרת בטווח של מספר מילי-מעלות בלבד. החדר בו פועלת המערכת מתאים לתנאי חדר נקי מסוג 1 עד 100; המערכת משתמשת בחומרים שאינם פולטים גזים, ובמערכת אוורור שמונעת הצטברות של חלקיקים. אין צורך להשיג אפס חלקיקים – הדבר תלוי באיכות השטח, בבחירת החומרים שמשמשים לאטימה, ובאסטרטגיית הפליטה שמונעת את הצטברות של תוצרי לוואי של הפוטורזיסט.</p>