http://cozy-patio-ir.com/he/tags/%D7%90%D7%9C%D7%A7%D7%98%D7%A8%D7%95%D7%9F/ Recent content in אלקטרון) on Cozy Outdoor Patio IR Comfort Hugo he Fri, 19 Jun 2026 01:42:22 +0800 http://cozy-patio-ir.com/he/posts/tel-tokyo-electron-heater-lamp/ Fri, 19 Jun 2026 01:42:22 +0800 http://cozy-patio-ir.com/he/posts/tel-tokyo-electron-heater-lamp/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="מנורת חימום TEL (Tokyo Electron)"></p> <p>בחדרי הליתוגרפיה, ביצועי חימום הפוטורזיסט הם אלו שקובעים את רמת השליטה ברוחב הקווים. שינוי של 1°C במהלך תהליך החימום גורם מיד לשינויים ברוחב הקווים, ואפילו חלקיק אחד יכול לפגוע בוואף. מנורת החימום TEL נוצרה כדי להתמודד עם מציאות זו, ולא כדי להילחם בה.</p> <p><strong>מה באמת חשוב</strong> ישנה אחידות של טמפרטורה של ±0.1°C בכל שטח הוואף, מה שמאפשר שמירה על יציבות תרמית במהלך עיבוד הפוטורזיסט. המנורה מיועדת לשימוש בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, והעיצוב שלה מונע יצירת גזים וחלקיקים. החזריות אינה רק סיסמה – היא חלק בלתי נפרד מהעיצוב של המנורה. ערכי הטמפרטורה נשארים יציבים לאורך זמן, לאורך שלבי הייצור השונים ועם הזמן.</p>