Module de climatisation et de chauffage Fab

Fri, 03 Jul 2026 02:30:04 +0800

Sur une ligne de 300 mm, la salle de lithographie est l’élément essentiel. Si le chauffage de l’AHU ne fonctionne pas correctement, le profil de séchage en est affecté – et la qualité des produits diminue longtemps avant que le détecteur de défauts ne signale quoi que ce soit. Nous avons conçu notre module de chauffage pour maintenir un champ thermique stable, justement là où c’est important : directement sur la wafer.

Ce qui est crucial en interne Nous maintenons une uniformité thermique de ±0,1 °C dans le flux d’air, afin que la plaque de séchage dispose de conditions constantes. Ce module fonctionne dans des salles propres de classe 1–100, sans aucune génération de particules, ce qui est confirmé par un suivi en temps réel des particules. Le chauffage utilise des matériaux à faible émission de gaz et un circuit thermique hermétique, ce qui évite toute contamination pendant les processus de séchage. La puissance produite permet un fonctionnement 24/7, avec des taux de rampage contrôlés. Le module s’intègre facilement aux systèmes de contrôle existants grâce à des interfaces industrielles standards.

Module de chauffage infrarouge zoné

Thu, 18 Jun 2026 00:39:20 +0800

Sur le site de fabrication, le chauffage doux et le chauffage intense ne représentent pas simplement des étapes liées à la température : ce sont plutôt des étapes relatives aux tolérances à respecter. Une déviation de 1 °C peut avoir des conséquences graves sur les dimensions critiques des wafers, tandis qu’un point chaud peut entraîner une baisse significative du taux de production. C’est pourquoi nous avons conçu des modules de chauffage infrarouge divisés en zones indépendamment contrôlables, afin d’éliminer tout aspect subjectif dans la gestion de la température.

Module on Cozy Outdoor Patio IR Comfort

Module de climatisation et de chauffage Fab

Module de chauffage infrarouge zoné