Sur le site de fabrication, le chauffage doux et le chauffage intense ne représentent pas simplement des étapes liées à la température : ce sont plutôt des étapes relatives aux tolérances à respecter. Une déviation de 1 °C peut avoir des conséquences graves sur les dimensions critiques des wafers, tandis qu’un point chaud peut entraîner une baisse significative du taux de production. C’est pourquoi nous avons conçu des modules de chauffage infrarouge divisés en zones indépendamment contrôlables, afin d’éliminer tout aspect subjectif dans la gestion de la température.
Ce qui est important sur le plan technique Nous utilisons des émetteurs infrarouges à ondes courtes, équipés de circuits de commande rapides. Ainsi, la chaleur est envoyée là où vous le souhaitez, au moment voulu. Le module est divisé en zones contrôlées indépendamment, ce qui permet d’ajuster la température pour chaque zone plutôt que d’appliquer une température moyenne à l’ensemble du wafer. En pratique, cela permet d’obtenir une uniformité de température de ±0,1 °C au niveau du wafer, ainsi que des profils de chauffage respectant une marge de ±0,5 °C, cycle après cycle. La construction sans quartz et l’utilisation de matériaux à faible émission de gaz empêchent la formation de particules sur le wafer, ce qui est essentiel pour fonctionner dans des salles propres de classe 1–100.
Pourquoi c’est efficace dans une ligne de lithographie Vous ne pouvez vous permettre aucune panne imprévue. Ce module de chauffage infrarouge fonctionne 24/7, sans arrêt inattendu. De plus, son système thermique est conçu pour durer longtemps : sa durée de vie dépasse 10 000 heures. Il s’agit d’un système simple, modulaire, et dont la température peut être contrôlée au niveau de chaque zone.
Les avantages sont évidents Vous obtenez un temps de régulation plus rapide, une meilleure reproductibilité entre les lots, ainsi que moins de wafers endommagés dues à des écarts de température. L’utilisation d’énergie est également réduite : le contrôle par zones évite de chauffer toute la zone lorsqu’il suffit de régler quelques positions seulement.
Quelques points à prendre en compte L’installation nécessite un circuit électrique dédié ainsi qu’un flux d’air propre et frais pour maintenir une température stable des émetteurs. Le module s’intègre bien avec les systèmes de chauffage existants, mais vous obtiendrez tous les avantages si vous l’utilisez en combinaison avec une stratégie de contrôle qui tient compte des effets aux bords du wafer.
Une contrainte importante Le nombre de zones est fixe pour chaque cadre. Il est donc nécessaire de planifier à l’avance le découpage en zones, en fonction des dimensions du wafer et des exigences de contrôle des bords.