Protéger les composants lors du chauffage des wafers à l’aide d’infrarouge
Soyons honnêtes : mélanger des lampes infrarouges à haute température avec des solvants inflammables est une véritable invitation au désastre. Lors de la phase de nettoyage chimique des wafers, la dernière chose dont on a besoin, c’est d’une source d’ignition juste à côté de vapeurs explosives.
Nous avons trouvé une meilleure solution. Au lieu d’utiliser des lampes à élément ouvert, nous les enveloppons dans des enveloppes spécialisées.
Trouver le bon équilibre
Il faut trouver un équilibre précis quant à l’emplacement des lampes. Si on les installe trop près, on risque d’avoir des points chauds sur les wafers. Ce n’est pas bon. Mais si on les place trop loin, l’efficacité thermique diminue, ce qui ralentit le processus de chauffage.
Pour résoudre ce problème, nous plaçons les éléments chauffants à l’intérieur d’enveloppes hermétiques en saphir ou en quartz résistant aux produits chimiques. Cela agit comme un bouclier physique, qui protège l’arc électrique de la lampe des gaz environnants. Ainsi, même en cas de fuite de produits chimiques, la lampe ne prendra pas feu.
Assurer la durabilité
La stabilité est essentielle ici. Nous utilisons du quartz recouvert ou des structures à double paroi, car les chocs thermiques peuvent détruire rapidement les lampes. Lorsque les fluides de nettoyage changent de température, une lampe bon marché se brise très facilement. De plus, l’enveloppe hermétique empêche l’entrée d’humidité et de gaz corrosifs. C’est généralement là que les lampes tombent en panne : les électrodes sont simplement endommagées. Cette conception évite cela.
Les compromis
Il y a cependant un inconvénient : avec cette enveloppe protectrice, on perd un peu de chaleur. Ce n’est pas beaucoup, mais l’enveloppe absorbe une partie de l’énergie avant qu’elle n’atteigne le wafer. Il faudra donc ajuster l’alimentation électrique pour compenser cette perte, afin de maintenir les vitesses de chauffage à leur niveau optimal.
Enfin, n’oubliez pas l’importance de la circulation d’air. Même avec ces lampes hermétiques, il est nécessaire que le système de ventilation fonctionne correctement pour maintenir les concentrations de solvants en deçà du seuil explosif. La sécurité passe avant tout.