Comment maintenir une salle propre de classe 100 vraiment propre
Si vous gérez une salle propre de classe 100, vous connaissez bien le problème des particules qui se détachent du matériel. Une petite particule ou un peu de gaz émis par un élément chauffant suffisent pour dégrader la qualité des semi-conducteurs. C’est frustrant.
C’est pourquoi nous avons arrêté d’utiliser des chauffages standards et avons opté pour des tubes en quartz synthétique de haute pureté, recouverts d’un revêtement réfléchissant en or.
Pourquoi l’or est important
En réalité, la plupart des lampes infrarouges émettent de la chaleur dans toutes les directions. Mais dans un équipement de fabrication de semi-conducteurs, c’est du gaspillage. Ce qui compte, c’est que la chaleur atteigne bien la puce.
C’est pourquoi nous avons ajouté une fine couche d’or à l’arrière du tube en quartz. Cette couche agit comme un miroir, dirigeant toute l’énergie infrarouge vers l’avant. Le résultat ? Une densité de chaleur beaucoup plus élevée, sans avoir besoin d’augmenter la puissance du chauffage. Vous atteignez plus rapidement la température souhaitée. De plus, l’or est chimiquement inerte : il ne s’oxyde pas et ne se détache pas, ce qui permet de maintenir un niveau de contamination nul.
Les impuretés et la chaleur
Nous utilisons du quartz de haute pureté, car cela empêche les impuretés de se déplacer lorsque la température augmente. Ces lampes sont conçues pour résister aux cycles thermiques rapides.
Cependant, attention : puisque le revêtement en or dirige beaucoup d’énergie vers l’avant, le flux de chaleur à la surface du tube est intense. Assurez-vous que vos systèmes de refroidissement soient correctement configurés. Sinon, le quartz pourrait surchauffer aux extrémités.
Installation et maintenance
Ces lampes ont été conçues pour être installées facilement, sans aucun problème. Nous avons amélioré les joints afin d’éviter toute fuite de particules pendant l’installation.
Un conseil concernant le câblage : assurez-vous que l’alimentation électrique soit stable. Les pics de tension peuvent endommager le filament bien avant son heure.
Et si vous constatez que la puissance de sortie diminue ? C’est probablement dû à des impuretés sur la surface du quartz. Utilisez donc de l’IPA de qualité électronique pour nettoyer les lampes.
S’il vous plaît, arrêtez d’utiliser des chiffons abrasifs. Ils endommagent le revêtement et créent justement les particules que vous essayez d’éliminer. Privilégiez plutôt des produits doux.