http://cozy-patio-ir.com/fa/tags/air/ Recent content in Air on Cozy Outdoor Patio IR Comfort Hugo fa Fri, 03 Jul 2026 02:30:04 +0800 http://cozy-patio-ir.com/fa/posts/fab-air-conditioning-heater-module/ Fri, 03 Jul 2026 02:30:04 +0800 http://cozy-patio-ir.com/fa/posts/fab-air-conditioning-heater-module/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="ماژول تهویه مطبوع و گرمایش فاب"></p> <p>در خط تولید با طول ۳۰۰ میلی‌متر، بخش لیتوگرافی نقش حیاتی دارد. اگر دمای هیتر AHU تغییر کند، پروفایل گرمایشی نیز تحت تأثیر قرار می‌گیرد؛ در نتیجه، بازدهی تولید از همان ابتدا کاهش می‌یابد، حتی قبل از اینکه دستگاه‌های تشخیص نقص‌ها مشکلات را شناسایی کنند. ما ماژول هیتر سیستم تهویه فاب را طوری طراحی کرده‌ایم که میدان حرارتی در همان نقطه کلیدی، یعنی روی ویفر، پایدار بماند.</p> <p><strong>آنچه اهمیت دارد:</strong><br> ما تنوع دمایی در جریان هوای ورودی را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد نگه می‌داریم؛ به این ترتیب، شرایط ورودی هوا برای فرآیند گرمایش یکنواخت خواهد بود. این ماژول در اتاق‌های پاکسازی کلاس ۱-۱۰۰ کار می‌کند؛ در این اتاق‌ها هیچ ذره‌ای تولید نمی‌شود، و این موضوع از طریق نظارت بر ذرات در محل تأیید می‌شود. هیتر از موادی با تولید گاز کم استفاده می‌کند و مسیر حرارتی آن نیز بسته است؛ بنابراین در حین فرآیند گرمایش، هیچ آلودگی‌ای ایجاد نمی‌شود. توان خروجی این ماژول برای کار ۲۴/۷ مناسب است و نرخ تغییر دما نیز کنترل شده است؛ همچنین، این ماژول از طریق رابط‌های صنعتی استاندارد، به سیستم کنترل AHU متصل می‌شود.</p>