http://cozy-patio-ir.com/fa/tags/%DA%AF%D8%B1%D9%85%D8%A7/ Recent content in گرما on Cozy Outdoor Patio IR Comfort Hugo fa Thu, 02 Jul 2026 02:28:29 +0800 http://cozy-patio-ir.com/fa/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ Thu, 02 Jul 2026 02:28:29 +0800 http://cozy-patio-ir.com/fa/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="حرارت با دقت بالا برای موجافزارهای مادون قرمز"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، انحراف نیم درجه‌ای در حین گرمایش فوتورزیست، موضوع جزئی نیست؛ زیرا منجر به کاهش کیفیت محصول در آزمایشات الکتریکی می‌شود. همچنین، این انحرافات باعث افزایش تعداد ذرات ناخواسته در سطح ویفر می‌شود که نیازمند بازسازی مجدد است. گرمایش ویفر با استفاده از امواج مادون قرمز باید به گونه‌ای باشد که گرمای یکنواختی در سراسر ویفر ایجاد شود، بدون اینکه باعث آلودگی آن شود.</p> <p><strong>چه چیزهایی اهمیت دارند؟</strong><br> ما سیستم گرمایشی مادون قرمز ویفر را با استفاده از فرستنده‌های مادون قرمز کوتاه‌امواج در یک ماژول تقویت‌شده با کوارتز ساخته‌ایم؛ این سیستم برای پاسخ‌دهی سریع و کنترل دقیق دما مناسب است. در ویفرهای ۳۰۰ میلی‌متری، ما توانستیم یکنواختی دما را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد حفظ کنیم؛ همچنین، تکرارپذیری عملکرد سیستم نیز در محدوده چند میلی‌درجه باقی می‌ماند. این سیستم با استفاده از موادی با میزان گاز خروجی کم و سیستم تهویه کنترل‌شده، مناسب برای استفاده در اتاق‌های پاک است. عدم تولید هیچ ذره‌ای نیز نتیجه کنترل دقیق سطح ویفر و استفاده از روش‌های مناسب برای خارج کردن محصولات جانبی فوتورزیست است.</p>