Mantener una sala limpia de clase 100 realmente limpia
Si maneja una sala limpia de clase 100, seguramente conoce el problema que representan las partículas en suspensión. Una pequeña partícula o un poco de gas emitido por los elementos calefactores puede arruinar la calidad de los semiconductores producidos. Es frustrante.
Por eso dejamos de usar calentadores convencionales y pasamos a utilizar tubos de cuarzo sintético de alta pureza, con revestimiento reflectante de oro.
Por qué es importante el oro
La mayoría de las lámparas infrarrojas simplemente emiten calor en todas direcciones. Pero en las herramientas utilizadas en la fabricación de semiconductores, eso es un desperdicio. Lo importante es que el calor llegue directamente al wafer.
Por eso aplicamos una fina capa de oro en la parte posterior del tubo de cuarzo. Este revestimiento funciona como un espejo, dirigiendo toda esa energía infrarroja hacia adelante.
El resultado? Se logra una mayor densidad de calor, sin necesidad de aumentar la potencia del calentador. Se alcanzan las temperaturas deseadas mucho más rápidamente. Además, el oro es químicamente inerte; no se oxida ni se desprende, por lo que el objetivo de “cero contaminación” se mantiene real.
Las impurezas en los materiales y el calor
Utilizamos cuarzo de alta pureza porque evita que las impurezas se muevan cuando los materiales se calientan. Estas lámparas están diseñadas para soportar ciclos térmicos rápidos sin dañarse.
Pero hay algo importante: como el revestimiento de oro dirige mucha energía hacia adelante, el flujo de calor en la cara frontal es intenso. Asegúrese de que sus sistemas de refrigeración estén configurados correctamente. De lo contrario, el cuarzo podría sobrecalentarse en los extremos.
Instalación y mantenimiento
Hemos diseñado estos dispositivos para que puedan reemplazar fácilmente los anteriores. No hay complicaciones. Hemos mejorado los sellos para que no haya riesgo de que salgan partículas durante su instalación.
Un consejo sobre el cableado: mantenga la fuente de alimentación estable. Los picos de voltaje pueden dañar el filamento antes de tiempo.
Y si observa que la salida de energía disminuye, probablemente sea debido a suciedad en la superficie del cuarzo. Use alcohol isopropílico de grado electrónico para limpiarlo adecuadamente.
Por favor, deje de usar paños abrasivos. Estos dañan el revestimiento y generan precisamente las partículas que intenta eliminar. Use solo materiales suaves.