Fab Klimaanlagen und Heizmodul

Fri, 03 Jul 2026 02:30:04 +0800

In einer Linie mit einer Länge von 300 mm ist die Lithografieeinheit das „Herzstück“ des Systems. Wenn der Heizer der AHU keine konstante Temperatur hält, wirkt sich das auch auf das Trocknungsprofil aus – und schon vor dem Zeitpunkt, an dem der Defektsensor etwas feststellt, nimmt die Qualität der Wafers ab. Wir haben unser Klimatisierungs- und Heizmodul so konstruiert, dass das thermische Feld dort stabil bleibt, wo es wirklich wichtig ist – direkt auf der Waferoberfläche.

Was wirklich wichtig ist: Wir gewährleisten eine Temperaturgleichmäßigkeit von ±0,1 °C im Luftstrom – dadurch erhalten die Wafers immer konstante Bedingungen während des Trocknungsprozesses. Das Modul wird in Reinräumen der Klasse 1–100 eingesetzt, wobei keine Partikel entstehen – dies wird durch kontinuierliche Überwachung der Partikeldichte bestätigt. Der Heizer verwendet Materialien mit geringer Gasemission sowie einen versiegelten Wärmeleitweg – dadurch entsteht während des Trocknungsprozesses keine Kontamination. Die Leistung des Moduls ist für einen 24/7-Betrieb ausgelegt, wobei die Temperatur schrittweise gesteuert werden kann. Es kann außerdem über standardmäßige Industrieeinsätze in die Steuerkreise der AHU integriert werden.

Zoniertes Infrarot Heizmodul

Thu, 18 Jun 2026 00:39:20 +0800

In der Fertigungshalle sind die Schritte des Weich- und Hartbackens keine einfachen Temperaturanpassungen – es handelt sich dabei vielmehr um Toleranzwerte. Eine Abweichung von 1 °C beeinträchtigt bereits die geforderten Kritischkeitsparameter. Zudem können Hotspots dazu führen, dass die Produktqualität leidet. Deshalb haben wir zonale Infrarotheizmodule entwickelt, damit die Temperaturkontrolle einfacher wird.

Was technisch wichtig ist:
Wir verwenden Kurzwell-Infrarotstrahler mit schnellen Steuerungen, sodass die Wärme genau dort entsteht, wo und wann sie benötigt wird. Das Modul ist in unabhängig steuerbare Bereiche unterteilt – dadurch kann die Temperatur auf der Waferoberfläche präzise geregelt werden, anstatt eine Durchschnittstemperatur zu verwenden. In der Praxis ergibt sich dadurch eine Homogenität der Waferoberfläche von ±0,1 °C sowie ein konstantes Temperatureniveau während der Backvorgänge von ±0,5 °C. Die bauteillose Konstruktion sowie die Materialien mit geringer Gasemission verhindern das Entstehen von Partikeln auf der Waferoberfläche – genau das ist für den Betrieb in Reinräumen der Klassen 1–100 notwendig.

Modul on Cozy Outdoor Patio IR Comfort

Fab Klimaanlagen und Heizmodul

Zoniertes Infrarot Heizmodul