IR on Cozy Outdoor Patio IR Comfort

Präziser IR Sensor für Wafer

Thu, 23 Jul 2026 09:24:45 +0800

Kohlenstoffeinsparung bei der Waferverarbeitung – ohne den Verstand zu verlieren
Jede Halbleiterfabrik muss sich derzeit mit dem Druck auseinandersetzen, die Ziele bezüglich des Netto-Null-Energieverbrauchs zu erreichen. Doch wenn man genau betrachtet, wohin die Energie verschwindet, stellt man fest, dass ein großer Teil davon als Verschwendungsenergie bei der Erwärmung und Trocknung der Wafer entsteht.

Die alte Methode – große Konvektionsöfen – ist im Grunde genommen wie das Versuchen, eine einzige Erbse zu erhitzen, indem man das ganze Kücheninnere aufheizt. Das ist eine enorme Energieverschwendung. Wir haben einen besseren Weg gefunden: Wir nutzen präzise IR-Sensoren sowie Heizsysteme, die gezielt auf den Wafer abgestimmt sind – und nicht auf den gesamten Raum.

Aluminiumreflektor für Infrarotlampe

Sun, 12 Jul 2026 05:04:13 +0800

Hören Sie auf, Wärme zu verschwenden: Warum Präzisionsaluminiumreflektoren wirklich wichtig sind
In der Welt der Halbleiterherstellung ist Wärme eigentlich Ihr bester Freund – solange sie nicht dorthin gelangt, wo sie nicht hingehört.
Denken Sie an diese hochleistungsstarken Infrarotlampen: Die Energie strahlt nicht nur geradeaus aus, sondern in alle Richtungen. Wenn es keine Möglichkeit gibt, diese Energie zu lenken, prallt sie einfach gegen die Innenseiten der Maschine.
Bald schon wird das Chassis der Maschine zu einem riesigen Radierer. Die Außenfläche wird so heiß, dass sie die Hände des Bedieners verbrennen kann. Zudem werden die Sensoren in der Nähe beeinträchtigt, da sie durch die überschüssige Wärme beschädigt werden. Das ist ein echtes Problem.

Wandmontierter Garagenheizer IR

Tue, 07 Jul 2026 10:43:08 +0800

Einführung
Wir produzieren wandmontierte Infrarotheizer – solche, die in einer geschäftigen Werkstatt oder in einem feuchten Badezimmer zum Einsatz kommen. Der Vorteil ist klar: Die Wärme wird genau dort bereitgestellt, wo sie benötigt wird – ohne dass Geld für die Erwärmung von Luft verschwendet wird.

Falls Sie Ingenieur sind oder eine Anlage planen, ist die Aufgabe einfach: Die Leistung des Heizers muss zur Größe des Raumes passen. Wenn das richtig gemacht wird, funktioniert die Heizung effizient und sparsam. Falsch gemacht, erhält man einen Heizer, der überdimensioniert ist, nicht ausreicht und somit kostspielig ist.

Hohe Präzision bei der Wärmebehandlung von Wafern im Infrarotbereich

Thu, 02 Jul 2026 02:28:29 +0800

Im Bereich der Lithografie ist eine Abweichung vonhalb eines Halbwinkels während des Trocknungsprozesses des Fotoleims kein unbedeutender Fehler. Diese Abweichung zeigt sich in schlechteren Ergebnissen bei den elektrischen Tests sowie in einem Anstieg der Partikelzahl – was wiederum zu zusätzlichen Bearbeitungsschritten führt. Die IR-Heizung muss nicht nur eine bestimmte Temperatur erreichen, sondern auch eine stabile, wiederholbare Wärmeabgabe über die gesamte Waferoberfläche gewährleisten – ohne dabei Kontaminationen zu verursachen.

Was wirklich zählt
Wir haben das IR-Heizsystem für Wafer so konzipiert, dass es Kurzwellen-Infrarotstrahler verwendet, die in einem Quarzmodul untergebracht sind. Dadurch wird eine schnelle Reaktion sowie eine präzise Temperaturregulierung ermöglicht. Auf einer 300-mm-Waferoberfläche halten wir die Temperaturkonstanz bei ±0,1 °C – die Wiederholgenauigkeit zwischen den einzelnen Prozessschritten liegt bei einigen Milligraden. Der Aufarbeitungsraum ist für Reinräume der Klassen 1 bis 100 geeignet; dabei werden Materialien mit geringer Gasemission verwendet sowie ein Partikelkontrollierter Luftstrom eingesetzt, um die Partikelzahl möglichst niedrig zu halten. Eine vollständige Partikelfreiheit ist kein Ziel an sich – sie hängt vielmehr vom Oberflächenfinish, den verwendeten Dichtungsmaterialien sowie von der Strategie zur Ableitung der Abgase ab, damit die Nebenprodukte des Fotoleims nicht erneut auf der Waferoberfläche abgelagert werden.