Zoniertes Infrarot Heizmodul

Thu, 18 Jun 2026 00:39:20 +0800

In der Fertigungshalle sind die Schritte des Weich- und Hartbackens keine einfachen Temperaturanpassungen – es handelt sich dabei vielmehr um Toleranzwerte. Eine Abweichung von 1 °C beeinträchtigt bereits die geforderten Kritischkeitsparameter. Zudem können Hotspots dazu führen, dass die Produktqualität leidet. Deshalb haben wir zonale Infrarotheizmodule entwickelt, damit die Temperaturkontrolle einfacher wird.

Was technisch wichtig ist:
Wir verwenden Kurzwell-Infrarotstrahler mit schnellen Steuerungen, sodass die Wärme genau dort entsteht, wo und wann sie benötigt wird. Das Modul ist in unabhängig steuerbare Bereiche unterteilt – dadurch kann die Temperatur auf der Waferoberfläche präzise geregelt werden, anstatt eine Durchschnittstemperatur zu verwenden. In der Praxis ergibt sich dadurch eine Homogenität der Waferoberfläche von ±0,1 °C sowie ein konstantes Temperatureniveau während der Backvorgänge von ±0,5 °C. Die bauteillose Konstruktion sowie die Materialien mit geringer Gasemission verhindern das Entstehen von Partikeln auf der Waferoberfläche – genau das ist für den Betrieb in Reinräumen der Klassen 1–100 notwendig.

Gebietet on Cozy Outdoor Patio IR Comfort

Zoniertes Infrarot Heizmodul