http://cozy-patio-ir.com/de/tags/chip/ Recent content in Chip on Cozy Outdoor Patio IR Comfort Hugo de Sun, 28 Jun 2026 00:58:00 +0800 http://cozy-patio-ir.com/de/posts/lab-on-a-chip-drying-heater/ Sun, 28 Jun 2026 00:58:00 +0800 http://cozy-patio-ir.com/de/posts/lab-on-a-chip-drying-heater/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Trocknungsheizer für Labore auf Chip Basis"></p> <p>Auf der Produktionsfläche läuft die Prozesskette im Labor-on-a-Chip-System schief, wenn die Trocknungsphase nicht ordnungsgemäß abläuft. Es treten Randverunreinigungen sowie Schmutz in den Kanälen auf – außerdem sinkt die Ertragsrate bei Wafern mit einem Durchmesser von 300 mm. Der Heizer muss sich an die vorgegebenen Vorgaben <a href="https://o-yate.com">halten</a> und nicht an die Raumtemperatur.</p> <p><strong>Was technisch wichtig ist:</strong><br> Wir haben den Trocknungsheizer für das Labor-on-a-Chip-System mit Kurzwellen-Infrarotstrahlern in einem Quarzkeramikmodul konstruiert. Dadurch wird eine schnelle Reaktionszeit sowie eine geringe thermische Masse erreicht – genau das, was man braucht. Die Gleichmäßigkeit der Temperatur auf der Waferoberfläche bleibt bei ±0,1°C innerhalb der Trocknungszone konstant. Dadurch bleiben auch die Parameter für die Weich- und Harttrocknung des Photoresists innerhalb der vorgegebenen Grenzen.</p>