http://cozy-patio-ir.com/cs/tags/z%C3%B3nov%C3%A1no/ Recent content in Zónováno on Cozy Outdoor Patio IR Comfort Hugo cs Fri, 26 Jun 2026 01:00:37 +0800 http://cozy-patio-ir.com/cs/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Fri, 26 Jun 2026 01:00:37 +0800 http://cozy-patio-ir.com/cs/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Zónové vytápění pro pokročilou továrnu na čipy"></p> <p>Sledujte, jak 300 mm velký wafer sklouzává z dráhy do module určeného k tepelné úpravě. Fotorezistent musí dosáhnout požadované teploty – čistě, rovnoměrně na celém povrchu waferu. Pokud dojde k odchylce o 1 °C v horké oblasti, nebo pokud se na okraji objeví chladná oblast, kontrola kritických rozměrů selže. Linie výroby se tedy zastaví.</p> <p><strong>Co je opravdu důležité</strong> Vytvořili jsme systém tepelné úpravy s oddělenými zónami, přičemž jednotlivé prvky rychle reagují a udržují rovnoměrné teplo na celém povrchu waferu. Během měkké a tvrdé tepelné úpravy systém udržuje stabilitu teploty v rozmezí ±0,1 °C. Profily teplotních změn se opakují, takže je chráněn profil fotorezistentu a zabrání se vzniku statických vln.</p>