Vafle on Cozy Outdoor Patio IR Comfort

Energeticky úsporný ohřívač destiček

Mon, 27 Jul 2026 16:06:15 +0800

Zastavte kontaminaci polovodičových destiček ještě předtím, než začne

Buďme upřímní: prasknutí infračervené lampy v provozu s vysokým zatížením je opravdová noční můra.
Nejde jen o to, že topidlo přestane fungovat. Když praskne ten křemenný trubic, po povrchu destičky se rozsype spousta skleněných úlomků a chemických látek. Jedno prasknutí a celá várka je zbytečná.
Vynaložili jsme hodně času na to, abychom přišli na způsob, jak tomu zabránit hned od začátku.

Jak se vypořádat s teplem a tlakem

Většinou tyto lampy prasknou proto, že teplo není rovnoměrně rozloženo, nebo proto, že vnitřní tlak prudce stoupá.
Abychom to vyřešili, používáme vysoce čistý spálený křemen. Ten dokáže odolat rychlým cyklům zahřívání a ochlazování bez prasklin. Také věnujeme velkou pozornost tloušťce stěny trubice.
Je to otázka rovnováhy – pokud je trubice příliš tenká, praskne. Pokud je příliš tlustá, plýtváme energií. Hledáme ten správný kompromis, aby trubice byla dostatečně pevná, ale zároveň umožnila prochod tepla.

Ohřívač na sušení destiček senzorů MEMS

Sun, 26 Jul 2026 09:32:00 +0800

Zastavte „dešť z skla“: Udržujte vaše wafery čisté během sušení v infračerveném režimu
V oblasti výroby senzorů typu MEMS je selhání infračervené žárovky noční můrou. Není to jen porouchaná součástka – jedná se o katastrofu.

Představte si, že křemíková trubice praskne pod vysokým tlakem. Najednou na vaše wafery padají úlomky skla a vlákna z wolframu. Jedno takové selhání znamená ztrátu celé série waferů. Poté přichází ta „zábavná“ část – musíte rozebrat celou komoru, abyste uklidili ten nepořádek.

Přesný IR senzor pro polovodičové destičky

Thu, 23 Jul 2026 09:24:45 +0800

Snižování emisí upravováním polovodičových desek (aniž byste ztratili rozum)
Všechny továrny na výrobu polovodičů teď čelí tlaku, aby dosáhly cílů nulových emisí. Ale když se podíváme na to, kde energie mizí, zjistíme, že velká část z ní je prostě plýtvání energií při zahřívání a vysychání polovodičových desek.

Starý způsob – velké konvekční pece – je vlastně jako pokus o zahřátí jediného hrášku tím, že se zahřeje celá kuchyň. Je to obrovská ztráta energie. Našli jsme lepší způsob – pomocí precizních infračervených senzorů a topnéch systémů, které působí přímo na samotnou polovodičovou desku, a ne na celou místnost.

Senzor teploty pro nástroj na destičky

Thu, 23 Jul 2026 09:10:43 +0800

Proč přecházíme na infračervené zahřívání při zpracování destiček

Všichni teď mluví o uhlíkové neutralitě, a v oblasti polovodičů to znamená, že musíme přehodnotit způsob zahřívání. Starý způsob – použití velkých rezistivních pecí – je v podstatě jako zahřívat celý dům jen proto, abychom ohřáli jednu plátek pizzy. Je to plýtvání energií.

Proto přecházíme na infračervené zahřívání. Místo toho, abychom zahřívali celou komoru, namíříme teplo přímo tam, kde je potřeba – na destičku.

Správné zahřívání

Takto to vlastně funguje. Používáme vysokovýkonové křemíkové lampy, které vysílají krátkovlnné záření přímo do substrátu. Je to neuvěřitelně rychlé – teplota se zvyšuje během několika sekund. To znamená, že zařízení ne Spotřebovává tolik energie.

Bezpečná vzdálenost pro zahřívání polovodičové desky

Tue, 21 Jul 2026 01:37:28 +0800

Udržování bezpečnosti při zahřívání waferů pomocí IR záření

Buďme upřímní: kombinace vysokoteplotních infračervených lamp s hořlavými rozpouštědly je recept na opravdu špatný den. V fázi chemického čištění waferů rozhodně nechcete mít zdroj zapálení hned vedle výbušných par.
Našli jsme lepší způsob, jak se s tím vypořádat. Místo použití lamp s otevřenými vlákny je obalujeme do speciálních obalů.

Najít „ideální polohu“

Při umisťování lamp je potřeba najít správnou rovnováhu. Pokud je umístíte příliš blízko, na waferu vzniknou „horká místa“. To není dobré. Ale pokud je umístíte příliš daleko, sníží se efektivita ohřevu a cykly budou trvat déle.
Abychom to vyřešili, uložíme ohřívací prvky do uzavřených obalů vyrobených z safíru nebo chemicky odolného křemene. Představte si to jako fyzický štít – udržuje elektrický oblouk lampy stranou od okolního vzduchu. Takže i v případě úniku chemikálií lampa nezpůsobí požár.

Reflektor pro lampu na vyzravování čipů

Fri, 17 Jul 2026 01:50:47 +0800

Zabraňte tomu, aby se váš systém pro zasychání polovodičů proměnil v troubu

Problém s infračervenými lampami spočívá v tom, že vyzařují teplo ve všech směrech – 360 stupňů. V zařízeních na zpracování polovodičů je každé teplo, které nezasáhne desku, v podstatě zbytečné. Ale je to ještě horší – ta zbytečná energie musí někam odejít, a tak narazí přímo do vnitřních stěn zařízení. Viděli jsme už příliš mnoho případů, kdy se korpus zařízení tak zahřál, že představoval nebezpečí popálenin. To rozhodně není to, jak by mělo vypadat profesionální pracoviště.

Lampa pro sušičku destiček DNS (Screen)

Mon, 29 Jun 2026 02:09:47 +0800

Na linii 300 mm vypadá pec stabilně, ale profil fotorezisty se po měkkém zahřívání stále mění. To způsobuje odchylky v šířce čáry během procesu leptání. Příčinou je nevyrovnané tepelné zatížení na celé ploše waferu.

Většinou je viníkem lampa v sušičce – její prvky se opotřebovávají, výkon se mění a dochází k „horkým místům“, které kontrolér prostě nemůže kompenzovat.

Co je v praxi důležité Lampa v sušičce DNS používá emitory krátkovlnného infračerveného záření umístěné v křemíkovém celku. To umožňuje rychlé a přímé zahřívání s rovnoměrností na úrovni waferu v rozsahu ±0,1 °C.