http://cozy-patio-ir.com/cs/tags/su%C5%A1i%C4%8Dka/ Recent content in Sušička on Cozy Outdoor Patio IR Comfort Hugo cs Mon, 29 Jun 2026 02:09:47 +0800 http://cozy-patio-ir.com/cs/posts/dns-screen-wafer-dryer-lamp/ Mon, 29 Jun 2026 02:09:47 +0800 http://cozy-patio-ir.com/cs/posts/dns-screen-wafer-dryer-lamp/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Lampa pro sušičku destiček DNS (Screen)"></p> <p>Na linii 300 mm vypadá pec stabilně, ale profil fotorezisty se po měkkém zahřívání stále mění. To způsobuje odchylky v šířce čáry během procesu leptání. Příčinou je nevyrovnané tepelné zatížení na celé ploše waferu.</p> <p>Většinou je viníkem lampa v sušičce – její prvky se opotřebovávají, výkon se mění a dochází k „horkým místům“, které kontrolér prostě nemůže kompenzovat.</p> <p><strong>Co je v praxi důležité</strong> Lampa v sušičce DNS používá emitory krátkovlnného infračerveného záření umístěné v křemíkovém celku. To umožňuje rychlé a přímé zahřívání s rovnoměrností na úrovni waferu v rozsahu ±0,1 °C.</p>