http://cozy-patio-ir.com/cs/tags/elektron/ Recent content in Elektron) on Cozy Outdoor Patio IR Comfort Hugo cs Fri, 19 Jun 2026 01:42:22 +0800 http://cozy-patio-ir.com/cs/posts/tel-tokyo-electron-heater-lamp/ Fri, 19 Jun 2026 01:42:22 +0800 http://cozy-patio-ir.com/cs/posts/tel-tokyo-electron-heater-lamp/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Žárovka TEL (Tokyo Electron)"></p> <p>V prostorách určených k litografii je právě kvalita zahřívání fotorezistoru tím, co určuje úroveň kontroly tloušťky čar. I odchylka o 1 °C během procesu zahřívání se okamžitě projeví jako změny v šířce čar. Stačí jeden částic, aby bylo možné celý wafer zničit. Ohřívací lampa TEL je navržena tak, aby se s těmito podmínkami vyrovnala, nikoli aby s nimi bojovala.</p> <p><strong>Co je opravdu důležité uvnitř zařízení</strong><br> Dosahuje se rovnoměrnosti teploty na úrovni ±0,1 °C po celém povrchu waferu, což zajišťuje stabilitu teplotního režimu během zpracování fotorezistoru. Zařízení je navrženo tak, aby fungovalo v čistých prostorách třídy 1–100. Díky vhodné konstrukci je minimalizována tvorba částic a uvolňování plynů. Opakovatelnost není jen slogan – je to součást designu zařízení. Hodnoty nastavení zůstávají konstantní i při změnách serií nebo v průběhu času.</p>