
কাঁচের টুকরোগুলো থেকে ওয়েফারগুলোকে রক্ষা করুন: IR ড্রাইং প্রক্রিয়ায় ওয়েফারগুলোকে পরিষ্কার রাখা
MEMS সেন্সর উৎপাদনের ক্ষেত্রে, ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলো ব্যর্থ হয়ে গেলে তা একটি বড় সমস্যা। এটা শুধুমাত্র একটি ভাঙা যন্ত্রাংশ নয়; বরং এটা একটি বিপর্যয়।
কল্পনা করুন, উচ্চ চাপের কারণে কোয়ার্টজ টিউবটি ভেঙে যায়। হঠাৎ করেই কাঁচের টুকরো ও টাঙ্গস্টেন ফিলামেন্টগুলো ওয়েফারগুলোর উপর পড়তে থাকে। একবার এমন ঘটলেই সমস্ত ওয়েফার নষ্ট হয়ে যায়। তারপর আসে পরিষ্কার করার কাজ… অর্থাৎ পুরো চেম্বারটিকে ভেঙে পরিষ্কার করতে হয়।
ল্যাম্পগুলো কেন ব্যর্থ হয়?
সাধারণত, এর কারণ হলো তাপীয় শক বা অতিরিক্ত তাপ। যদি কোয়ার্টজটি অসমানভাবে সম্প্রসারিত হয়, তবে এটি ভেঙে যায়। এটাই সবকিছু।
আমরা উচ্চ-গুণমানের কৃত্রিম কোয়ার্টজ ব্যবহার করি; এটা দ্রুত তাপ পরিবর্তন সহ্য করতে পারে। আমরা ফিলামেন্টগুলোর অবস্থান ও গ্যাস পূরণ বিষয়গুলোও খুব মনোযোগ দিই। কেন? কারণ এতে তাপটি টিউবের দেয়ালে সমানভাবে ছড়িয়ে যায়। যখন তাপ সমান থাকে, তখন কোয়ার্টজটি অক্ষত থাকে।
নিরাপত্তা ব্যবস্থা
আমরা শুধুমাত্র কোয়ার্টজের উপর নির্ভর করি না। এটা একটি ঝুঁকিপূর্ণ পদক্ষেপ।
বরং, আমরা একটি নিরাপত্তা ব্যবস্থা ব্যবহার করি। আমরা বিশেষ ধরনের স্লিভ ও আবরণ ব্যবহার করি; এগুলো একধরনের ‘ঢাল’ হিসেবে কাজ করে। যদি ল্যাম্পটি নষ্ট হয়ে যায়, তবে ধ্বংসাবশেষগুলো চেম্বারের ভিতরেই থেকে যায়। এগুলো ওয়েফারগুলোর উপর পড়ে না।
আমরা কানেক্টরগুলোর বিষয়েও খুব মনোযোগ দিই। ঢিলে কানেকশনের কারণে বৈদ্যুতিক সমস্যা হয়; আর এর ফলে ধাতব ধূলিকণা তৈরি হয়। এটাও ওয়েফারগুলোকে দূষিত করার আরেকটি উপায়। আমরা নিশ্চিত করি যে কানেকশনগুলো ভালোভাবে বন্ধ থাকে, এবং উপকরণগুলো আপনার সিস্টেমের ভোল্টেজ সহ্য করতে পারে।
ভারসাম্য বজায় রাখা
উচ্চ-ঘনত্বের IR হিটিংয়ের ক্ষেত্রে একটি বিষয় মনে রাখা দরকার—এটা একটি সমঝোতার ব্যাপার।
যদি আপনি দ্রুত শুকানোর জন্য চান, তবে ছোট জায়গায় বেশি ওয়াটেজ দরকার। কিন্তু বেশি ওয়াটেজ মানে কোয়ার্টজের উপর অতিরিক্ত চাপ।
যদি আপনি দ্রুত কাজ সম্পন্ন করার জন্য উচ্চ-ওয়াটেজ ব্যবহার করেন, তবে আপনাকে নিশ্চিত করতে হবে যে কুলিং এয়ারফ্লোটি ঠিকমতো কাজ করছে। যদি টিউবের দুই প্রান্ত ঠান্ডা না থাকে, তবে সিলগুলো দ্রুত নষ্ট হয়ে যাবে।
আমরা তাপ সরবরাহ করি; কিন্তু আপনার সিস্টেমের তাপ ব্যবস্থাপনাই নির্ধারণ করে যে ল্যাম্পটি কতক্ষণ কাজ করবে।