৩০০ মিমি লাইনে, ওভেনটি স্থিতিশীল মনে হলেও, সফট বেকের পরও ফটোরেজিস্টের প্রোফাইলটি অস্থির থাকে। এর ফলে ইটচিং প্রক্রিয়ায় লাইনের প্রস্থে পরিবর্তন ঘটে; আর এর কারণ হলো ওয়েফারের উপর তাপীয় বণ্টনের অসমানতা।
বেশিরভাগ ক্ষেত্রেই দোষের কারণ হলো ড্রায়ার ল্যাম্প—ল্যাম্পের উপাদানগুলো ক্রমশ ক্ষয়প্রাপ্ত হয়, এর আউটপুট অস্থির হয়ে যায়; আর কন্ট্রোলার এসব সমস্যাগুলো সামাল দিতে পারে না।
কী বিষয়গুলো গুরুত্বপূর্ণ?
DNS স্ক্রীন ওয়েফার ড্রায়ার ল্যাম্পটি কোয়ার্টজ অ্যাসেম্বলিতে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটার ব্যবহার করে। এর ফলে ওয়েফারে দ্রুত ও সমানভাবে তাপ সরবরাহ হয়; তাপমাত্রা +/−0.1°C এর মধ্যে থাকে।
ল্যাম্পটি হাজার হাজারবার ব্যবহার করার পরও এর আউটপুট অপরিবর্তিত থাকে; ফলে সফট বেকের ফলাফল নির্দিষ্ট মানের মধ্যেই থাকে।
এটি ক্লাস ১–১০০ ক্লিনরুমের জন্য তৈরি করা হয়েছে; আর পুরো সিস্টেমটি কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন না হওয়ার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। পৃষ্ঠগুলো এমনভাবে নির্বাচন করা হয়েছে যাতে কোনো ধরনের কণা না পড়ে।
৫,০০০ ঘণ্টারও বেশি সময় ধরে ল্যাম্পটির আউটপুট স্থিতিশীল থাকে; আউটপুটের পরিবর্তন ৫% এর কম হয়। ফলে কম পুনর্কাজ ও কম কনজিউমেবল প্রয়োজন হয়।
লিথোগ্রাফিতে এর গুরুত্ব
সফট বেক ও হার্ড বেক ফটোরেজিস্টের দ্রবণীয়তা, আঠালোতা ও CD নিয়ন্ত্রণ করে। যখন তাপীয় চক্রটি বারবার পুনরাবৃত্তি হয়, তখন বেকিংয়ের কারণে সৃষ্ট অসমানতার ফলে অপ্রয়োজনীয় কাজ কমে যায়।
উচ্চতর সমানতা মানে ইটচিং-এর পর কম পুনর্কাজ, উচ্চতর উৎপাদন হার, এবং প্রক্রিয়ার মধ্যেই পরিবর্তন সম্ভব হয়।
দ্রুত তাপীয় প্রতিক্রিয়ার ফলে প্রতি বেকিংয়ে ব্যবহৃত শক্তিও কমে যায়; আর দীর্ঘস্থায়ী এমিটারগুলোর কারণে অপ্রয়োজনীয় বন্ধ থাকার সময়ও কমে যায়।
শুরুতেই কী করা দরকার?
ইনস্টলেশনের সময় ল্যাম্পটিকে ড্রায়ার চেম্বারের আকার ও অপটিক্যাল পথের সাথে মেলানো দরকার। অন্য কিছু করার আগে কানেক্টরের ধরণ, ভোল্টেজ ও কুলিং ইন্টারফেস নিশ্চিত করা দরকার।
ল্যাম্পটিকে নির্দিষ্ট তাপমাত্রার মধ্যেই রাখা দরকার; অন্যথায় এমিটারের জীবনকাল কমে যায়।
আলাইনমেন্ট ও রিফ্লেক্টরের পরিষ্কার-পরিচ্ছন্নতার জন্য নিয়মিত ব্যবস্থা নেওয়া দরকার—অন্যথায় কাঙ্ক্ষিত সমানতা অর্জন করা সম্ভব হবে না।