আপনার ভ্যাকুয়াম চেম্বারগুলোকে পরিষ্কার রাখা খুবই গুরুত্বপূর্ণ। যখন আপনি ক্লাস 100 ক্লিনরুমে কাজ করেন, তখন সবচেয়ে ছোট্ট ভুলটিও বিপর্যয় ডেকে আনতে পারে। হিটিং প্রক্রিয়ার সময় একটি ছোট্ট ধূলিকণা বা রাসায়নিক গ্যাস বেরিয়ে গেলেই আপনার ওয়েফারটি নষ্ট হয়ে যায়।
বেশিরভাগ সাধারণ হিটিং এলিমেন্টগুলো এই উদ্দেশ্যে উপযুক্ত নয়। এগুলো থেকে অশুদ্ধি বেরিয়ে আসে; অর্থাৎ এগুলো আপনার ওয়েফারে অশুদ্ধি যোগ করে দেয়। এই কারণেই আমরা ভ্যাকুয়াম ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলোর জন্য উচ্চ-বিশুদ্ধতার সিন্থেটিক কোয়ার্টজ ব্যবহার করি। এটা সবসময় পরিষ্কার থাকে।
গ্যাস নির্গমন সমস্যা
আমরা ফিউজড সিলিকা কোয়ার্টজ ব্যবহার করি; কারণ উচ্চ তাপমাত্রায়ও এটা ক্ষতিগ্রস্ত হয় না। সাধারণ কাঁচের বিপরীতে, এটা ভেঙে যায় না, আর কোনো অশুদ্ধি বের হয় না। ভ্যাকুয়ামে কোনো ক্ষুদ্র কণাও “ধূলি” নয়—বরং এটা একটি ত্রুটি। কোয়ার্টজ থেকে অশুদ্ধিগুলো অপসারণ করার ফলে আপনার প্রক্রিয়ায় কার্বন বা ধাতু যোগ হওয়া রোধ হয়।
শক্তি ও তাপ
ইনফ্রারেড বিকিরণের জন্য কোনো মাধ্যমের দরকার নেই; তাই এটা ভ্যাকুয়ামের জন্য আদর্শ। আমরা এই ল্যাম্পগুলোকে উচ্চ-শক্তি ঘনত্বের জন্য ডিজাইন করেছি; ফলে তাপ দ্রুত বৃদ্ধি পায়। শক্তিটি সরাসরি কাজের অংশে যায়; এটা খুবই ভালো, কারণ এর ফলে চেম্বারের দেয়ালগুলো অপ্রয়োজনীয় তাপ শোষণ করতে পারে না।
তবে একটি বিষয় মনে রাখবেন: উচ্চ-ওয়াটেজের ল্যাম্পগুলো সময় সাশ্রয় করে, কিন্তু এগুলো ভ্যাকুয়াম সিলগুলোর জন্য ক্ষতিকর। নিশ্চিত হয়ে নিন যে আপনার গ্যাসকেটগুলো স্থানীয় তাপীয় প্রসারণ সামলাতে পারে।
ল্যাম্পগুলো স্থাপন
আমরা কানেক্টরগুলোকে স্ট্যান্ডার্ডাইজ করে রাখি। আপনি এগুলো সরাসরি স্থাপন করতে পারেন; পুরো র্যাকটি পুনরায় সংযোগ করার দরকার নেই। এতে অনেক ঝামেলা এড়ানো যায়। আমরা কোয়ার্টজগুলোকে উচ্চ মানে পলিশ করি; এর ফলে “হট স্পট” তৈরি হয় না। যদি আপনি উচ্চ-ভ্যাকুয়াম সিস্টেম ব্যবহার করেন, তাহলে অবশ্যই আপনার কুলিং সিস্টেমটি পরীক্ষা করুন। এই ল্যাম্পগুলো প্রচুর শক্তি সরবরাহ করে; ফলে তাপমাত্রা এতটাই বেশি হয় যে সাধারণ ওয়্যারিংগুলো গলে যেতে পারে। উচ্চ-তাপমাত্রার ওয়্যারিং ব্যবহার করুন, যাতে আপনার সিস্টেমে শর্ট সার্কিট না হয়।