شاهدوا كيف يتم نقل رقاقة بحجم 300 مم من السكة إلى وحدة التسخين. يجب أن يصل درجة حرارة المادة المستخدمة في عملية التسخين إلى القيمة المطلوبة، بشكل متساوٍ في جميع أجزاء الرقاقة. إذا كان هناك اختلاف في درجة الحرارة بمقدار 1 درجة مئوية، أو ظهور مناطق باردة على حواف الرقاقة، فإن ذلك سيؤثر سلبًا على دقة الأبعاد الحرجة للرقاقة، وبالتالي يتوقف العملية.
ما الذي يهم فعلاً؟ لقد صممنا وحدة التسخين بحيث تعمل بنظام التسخين المنطقي، حيث توجد عناصر تسخين مستقلة تعمل بسرعة وتحافظ على توزيع حراري متساوٍ في جميع أجزاء الرقاقة. أثناء عملية التسخين، يظل النظام مستقرًا ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، كما أن منحنيات التسخين متكررة، مما يساعد على الحفاظ على دقة المادة المستخدمة في عملية التسخين، ويمنع ظهور موجات حرارية غير مرغوب فيها.
توفر مصادر الحرارة من الكوارتز والأشعة تحت الحمراء قدرة تسخين سريعة ونظيفة، مع كمية منخفضة من الجسيمات. يقوم النظام بمراقبة كل منطقة في الوقت الفعلي، مما يسمح بتعويض الاختلافات الناتجة عن الظروف المحيطة.
لماذا يعمل هذا النظام في المصانع الحقيقية؟ في غرف التصنيع من الفئة 1–100، لا يمكن التفاوض بشأن عدد الجسيمات الموجودة في الهواء. لا تسبب وحدات التسخين هذه أي جسيمات أثناء عملية التسخين، وهو ما يساعد على الحفاظ على دقة العملية. نتيجة لذلك، يكون هناك توزيع أكثر دقة لخطوط الرقاقة، وعدد أقل من الرقاقات التي يجب إعادة معالجتها، بالإضافة إلى إمكانية العمل على مدار 24 ساعة دون أي مشاكل.
التفاصيل العملية التي يجب الانتباه إليها: يتعلق الأمر بمطابقة حجم غرفة التسخين، وأنماط تدفق الغاز، وقدرة الإخراج. يجب التحقق من توافق الأجزاء الحالية مع خريطة المناطق الجديدة ومنحنيات درجات الحرارة. يجب إجراء اختبارات سريعة لضبط إعدادات التسخين بما يتناسب مع نوع المادة المستخدمة. بمجرد ضبط الإعدادات، يمكن الاستمرار في العملية، بغض النظر عن التغيرات في الظروف المحيطة.