في قسم التصنيع، يُعتبر الحد الأقصى للطاقة الحرارية حدًا لا يجب تجاوزه. بعد عملية الزرع، يجب الوصول إلى درجة الحرارة المطلوبة بدقة عالية. إذا لم يتم ذلك، فإن مقاومة الرقاقة ستتغير، وبالتالي ستنخفض جودة الرقاقات المنتجة.
الطرق التقليدية في التسخين تؤدي إلى تغيرات في الخصائص الحرارية للرقاقة، كما أنها تسبب تأخيرًا في العملية. وبالتالي، يقل الوقت المتاح لإنجاز العملية.
ما هو مهم في العملية لقد صممنا عملية تنشيط المواد المستخدمة في التصنيع باستخدام مصادر إشعاع هالوجينية قصيرة الموجة، بالإضافة إلى تصميم حراري محسّن باستخدام الكوارتز. تذهب الطاقة مباشرة إلى الرقاقة بسرعة وبشكل نظيف. في رقاقات بحجم 300 مم، نحافظ على درجة الحرارة ثابتة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، مع استخدام أنماط تسخين متكررة. هذا يضمن استقرار الخصائص الحرارية للرقاقة خلال عمليات التسخين المختلفة.
تم تصميم البيئة المستخدمة في التصنيع لتكون خالية من الجسيمات، حيث تُستخدم مواد ذات انبعاثات منخفضة، بالإضافة إلى واجهات مغلقة للغرفة، مما يضمن استقرار عدد الجسيمات أثناء عمليات الطباعة والنقش. يعمل النظام على مدار 24 ساعة دون أي توقفات غير مخطط لها، كما أن نظام التحكم يضمن استقرار درجة حرارة التسخين ضمن نطاق ±0.2 درجة مئوية، مما يحافظ على الخصائص الحرجة للرقاقة.
لماذا يكون ذلك مهمًا في الإنتاج الضخم يجب أن تكون العملية قابلة للتكرار، سواء بين دفعات مختلفة أو بين منتجات مختلفة. تساعد أجهزة التسخين بالأشعة تحت الحمراء في تقليل وقت العملية، مع الحفاظ على استقرار الخصائص الحرارية للرقاقة، مما يضمن استقرار خصائص الرقاقة بعد عمليات التسخين المختلفة.
يقل عدد عمليات إعادة العمل، كما أن توزيع مقاومة الرقاقة يكون أكثر دقة. كما أن استهلاك الطاقة لكل رقاقة يكون أقل. في خطوط الإنتاج الضخمة، يعني ذلك إمكانية التخطيط لمعدل الإنتاج، بالإضافة إلى انخفاض التكلفة لكل رقاقة.
ما يجب الانتباه إليه يتطلب التركيب تحقيق توجيه óptico دقيق، بالإضافة إلى وجود مسارات خاصة للتخلص من الغازات، للحفاظ على توازن الضغط في الغرفة. يجب أيضًا ضبط قوة التسخين بناءً على خصائص الرقاقة المستخدمة.
نحن نوفر وصفات خاصة لكل تطبيق، لكن يجب أولاً اختبار النظام مع أنواع مختلفة من المواد المستخدمة في التصنيع. بمجرد ضبط النظام، يصبح أكثر استقرارًا. لكن خطوة الإعداد هذه ليست اختيارية.