DNS 屏幕 晶圆干燥灯

在300毫米光刻线路上，烘箱的运行状态似乎很稳定，但在软烘处理之后，光阻层的厚度仍会发生变化。这会导致蚀刻过程中线宽出现偏差，而问题的根源就在于晶圆表面的温度不均匀。 通常，造成这种情况的原因是干燥灯的问题——灯的组件会老化，其输出功率也会发生变化，同时还会出现局部过热现象，而这些都是控制器无法解...