半导体洁净室推车式加热器

为什么我们在晶圆传输加热器中使用黄金涂层 在洁净室中搬运晶圆时，温度至关重要。如果温度过低或波动过大，就很容易导致晶圆受到污染或出现热冲击现象。这显然不是开始一天的好方式。 为避免这种情况，我们使用了镀金反射器。虽然听起来很高端，但实际上这只是为了提高效率而已。我们希望热量能够直接作用于晶圆上，而...