停止让热量在晶圆处理系统中白白流失
在加热硅晶圆时，每一瓦特的能量都至关重要。问题在于：普通的不锈钢外壳就像海绵一样，会吸收过多的红外能量。这不仅浪费了电能，还会使设备外壳变成一个巨大的散热器。
我们通过在加热器外壳内部涂覆高纯度黄金来解决这个问题。
为什么选择黄金？
这并非因为黄金看起来很华丽，而是因为黄金具有出色的反射红外辐射的能力。您所使用的卤素灯或石英灯发出的光波，黄金能够将其反射回去。这样，外壳就不会吸收热量，而黄金层则能将高达98%的光子反射回晶圆上。这样，能量就能被精准地传递到需要的地方。
当然，还有一些实际需要考虑的因素。我们需要用高级不锈钢来制造这些外壳，这样才能避免其在高温下变形。此外，为了防止黄金涂层脱落，我们还会采用真空镀膜技术来将黄金固定在表面上。
不过，黄金也有其缺点：如果工艺过程中使用了腐蚀性气体，黄金涂层就可能会受损。一旦出现这种情况，设备的反射率就会下降，处理时间也会增加。如果您遇到这种情况，可以添加一层石英防护层，以保护黄金涂层。
这样做的好处是什么？
最大的好处就是速度。您可以更快地达到目标温度。这样一来，您有两种选择：要么降低灯的功率，从而减轻电源的负担；要么缩短升温时间，从而提高处理效率。
还有一个小建议：在安装设备时，请务必调整PID控制器。因为系统的响应速度提高了，所以您需要相应地调整参数。另外，由于热量被集中传递到晶圆上，机器的其他部分则不会过热。这样一来，冷却风扇就不必那么努力工作了，这对所有人来说都是好处。