如何确保100级洁净室的清洁状态
在运营100级洁净室时，供暖是个难题。问题不在于温度本身，而在于那些看不见的杂质。大多数加热元件都会变脏，因为它们在加热和冷却过程中会释放出微量颗粒物。
我们找到了一种更好的解决方案：使用碳纤维丝，并将其密封在高纯度的合成石英中。
为什么选择石英？
因为石英在高温下也不会出现异常反应，不会分解，也不会向空气中释放挥发性有机化合物。由于碳纤维被真空密封在管子里，因此不会有任何颗粒物泄漏出来。这样一来，就能得到干净的、稳定的热量，从而避免损坏晶圆或光学元件。
速度优势
这些碳纤维灯的升温速度极快，远远快于那些需要很长时间才能升温的旧金属线圈。对于HVAC系统来说，这无疑是个巨大优势，因为它不必应对如此大的热负荷。
不过有一点需要注意：要控制好功率密度。如果将高瓦数的灯泡安装在狭小的空间里，那么温度会迅速上升。如果安装支架不能适应石英的热膨胀，那么管道就可能会破裂。建议使用带弹簧结构的支架，这样玻璃在受热时可以适当“呼吸”。
安装方式
我们设计的这些产品可以直接替代普通的红外灯组，因此更换起来非常方便。此外，我们还使用了镀金或高品质镍制连接器。因为氧化会导致电弧现象，而电弧又会产生颗粒物。就是这么简单。
最后一点也很重要：高纯度石英不耐皮肤油脂。如果在安装过程中不戴手套触碰玻璃表面，那些油脂就会渗入玻璃表面，从而导致局部过热，最终使管道过早损坏。所以在开启设备之前，务必用试剂级异丙醇彻底擦拭管道表面。