Trong quá trình nung phim hiệu ứng quang học, chỉ cần có sự thay đổi nhiệt độ 2°C cũng đủ để làm thay đổi các kích thước quan trọng của sản phẩm, dẫn đến việc phải loại bỏ toàn bộ lô sản phẩm đó. Bạn không cần một nguồn nhiệt có khả năng “quyết định” nhiệt độ; bạn cần một nguồn nhiệt có khả năng duy trì nhiệt độ ổn định. Bóng đèn halogen bằng thạch anh mà chúng tôi sử dụng giúp kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác ở những vị trí quan trọng – nơi mà độ dày của wafer, độ bám dính của phim hiệu ứng quang học và chất lượng sản phẩm đều phụ thuộc vào yếu tố nhiệt độ.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật Chúng tôi sử dụng bóng đèn có vỏ bằng thạch anh và chứa chất halogen, giúp tạo ra nhiệt độ ổn định trong khoảng thời gian ngắn và trung bình. Điều này giúp việc kiểm soát nhiệt độ diễn ra nhanh chóng và đồng đều trên toàn bộ bề mặt wafer – điều rất quan trọng khi nguồn nhiệt hạn chế và khoảng thời gian nung cũng hạn chế. Nguồn nhiệt này vẫn giữ được độ ổn định trong thời gian dài; chúng tôi đã sử dụng những bóng đèn này trong hơn 5.000 giờ mà mức độ suy giảm cường độ ánh sáng chỉ dưới 5%. Kích thước của bóng đèn cũng phù hợp với các thiết bị dùng để phủ lớp phim hoặc nung wafer; các đầu nối của bóng đèn cũng được tiêu chuẩn hóa, giúp việc lắp đặt trở nên dễ dàng hơn.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong quy trình in ấn Phim hiệu ứng quang học rất nhạy cảm với nhiệt độ – nhiệt độ phải được kiểm soát ổn định để đảm bảo độ nhớt, khả năng bám dính và độ đồng đều của các đường nét trên bề mặt wafer. Với bóng đèn này, nhiệt độ sẽ được kiểm soát chính xác trong khoảng cho phép, giúp giảm thiểu sự biến đổi trong từng lô sản phẩm và đảm bảo độ chính xác của các kích thước quan trọng. Bóng đèn này cũng phù hợp với môi trường sạch loại 1–100, và không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào, giúp tránh sự nhiễm bẩn. Độ tin cậy cao của bóng đèn giúp giảm số lần dừng máy không mong muốn và giảm chi phí mua phụ tùng thay thế. Hơn nữa, công suất phát sáng của bóng đèn cũng ổn định, giúp tiết kiệm năng lượng mà vẫn đảm bảo độ chính xác.
Chi tiết thực tế Việc lắp đặt bóng đèn khá đơn giản, nhưng việc đảm bảo độ vuông góc giữa bóng đèn và bề mặt wafer lại là điều quan trọng. Nếu bóng đèn không được đặt đúng vị trí, độ đồng đều của nhiệt độ sẽ bị ảnh hưởng. Trước khi bắt đầu quy trình sản xuất, hãy kiểm tra điện áp, loại kết nối và luồng khí làm mát của thiết bị. Những bóng đèn này tạo ra nhiệt lượng lớn, vì vậy cần có hệ thống thông gió tốt để duy trì độ ổn định của nhiệt độ. Hãy lên kế hoạch thay thế bóng đèn định kỳ, và luôn chuẩn bị sẵn các bóng đèn dự phòng để tránh sự suy giảm hiệu suất quang học do việc thay thế bóng đèn.